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Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo, Voi. 10, D.2, 1991. EFEITO EM TERMOPILHAS DE FILMES FINOS DA TEMPERATURA - * Joao Francisco ..Escobedo ** Gute mb erg PereLra DLas Sergio Carlos Zilio*** * Depto. de Física e Biofísica - UNESp/Botucatu/SP **Programa de Pós-Graduação - Energia na Agricultura ***Instituto de Física e Química de .são Carlos/USP RESUMO da ordem de 5% na medida da radiação. Algumas marcas comerciaiscomo Eppley entre outras minimizam este efeito instalandocircuito com pensadoresde temperaturaa base de termistores ou dispositivossimilaresem seus radiômetros. Desde 1987 estamos trabalhando no desenv01 vimento tecnológicoda termopi1hade filmes fi~ nos obtidos por evaporação de metais 13,41, bem como nas suas aplicaçõesna radiometria.solar./S.6.7.8/. Alguns tipos de termopilhas pre to/brancoe Full-Blackelaboradaspor este pro~ cesso mostraramcaracterísticasfuncionais de responsividadee constante de tempo similares ou superiores as termopilhas importadas obti das por outras técnicas de construção. Os radiômetrostais como piranômetro,pi reliômetro, radiômetro líquido, radiômetro ã quático entre muitos outros, já testados em con dições de campo, apresentaram funcionalidade semelhante aos radiômetros solares que a Or ganização Mundial de Meteorologiaclassificam como de secundários e apropriados para operarem rotineiramente em estações meteoro inferior à 2% na medi-=: lógicas, com erro ção da radiação. Em vista dos resultados já obtidos com as termopilhas de filmes finos e conside rado a necessidade de se conhecer o com~ portamento deste trandutor em função da temperatura, ~bjetivou-se neste trabalho determinar o coeficiente de temperatura de várias termopilhas de filmes finos de positados em substratosde mylar, kapton e acrí= lico, que estão atualmente submetidas a testes de rotina na medida da radiação. Termopilhas de filmes finos obtidas por evaporação de metais, tipo Full-Black contendo 30 termopares, e tipos preto/branco, estrela e disco concêntrico de 36 termopares foram elaboradas em substratos de acrílico, mylar e kapton 100 HN. As de resistências elétricas medidas ã 2SoC foram ~ 10.88 R . = 7.19 kQ, R 1 ~ 7,8 k~, R t acrL kil e Rvnc pilhas~oram my ar = 9.42 - k~, respectivaIDente. - -kes As termo- - instaladas em piranômetros e submeti o daso a variaçoes de temperatura entre -10 . -C dea 50 C. Os resultados mostraram que a varLaçao resistência em função da temperatura e linear ten do declividade positiva para a termopilha em acrí para as termopilhas com substratõ lico e negativa de kapton e mylar. No acrílico a resistência va riou de 6.74 k~ à 7.50 kO, no kapton de 11.22 kIT à 10.66 kQ para a termclpilha estrela e de 9.95 kO a 9.05 kQ para a termopilha disco-concêntrico, en quanto na mylar de 8.16 à 7.64 k~. Os coeficien~ tes de temperatura (erro devido a variação de tem peratura % I °C) calculados à partir dos coefT ciente angulares das curvas experimentais e das resistências elétricas na temperatura. ambiente (250C) agresentaram os seguintes resultados: 0.09% I C para a termopilhaestrela em kapton; 0.13% I °c para a termopilhaem mylar, 0,2% loc para a termopilhadisco-concêntrico em kapton o . 0.19% I C para a termopilhacom substrato de acrílico. Os resultadosobtidos foram considera dos bonscomparados aos coeficientes de temperat~ ra de termopilhasimportadasque normalmente si~ tuam-sena faixa de 0.1% I °c à 0.25% loc. - INTRODUÇÃO O coeficiente de Temperatura , êrro máxi ID9devido a variação da temperatura ambiente (% I °c), e um dos parâmetros que mais afeta a performance dassensores termoeletricos ou termopi lhas,que atualmente, representa o elemento sensT vel mais completo utilizado dentro das aplicações radiometricas. 11.2.1. A resistência elétrica do circuitode termoparesdepende da temperatura e nos radiômetrossolares por operarem em condições de campo, este coeficientee mais acentuado que em outros detectores, chegando produzir erros ate EXPERIMENTAL Quatro termopilhas foram submetidas nos testes experimentais de variações de temperatura. disco concêntrico contendo Termopilhan9 1 de bismuto/antimônio de 36 termpares positados em substrato de kapton 10Õ HN (espessura de 25j.1m). - 95 Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo, Vol. 10 D.l, 1991. As especificações do circuito dos termopares são: espessura do filme metálico 3000 °A, resistência elétrica de 9.43 1d2ã 25 °c, diâmetro 25 DDD.A fi gura (1) mostra o esquema de termopares desta ter mopilha. Figura 3 - Esquema do circuito de termopares termopilhas n9 4 Full-Black. - das RESULTADOS E DISCUSSÃO Figura 1 - Esquema do circuito de termopares termopilha n9 I disco-concêntrico. Independentemente da configura~ão dos ,circui tos de termopares mostrado na secçao anter~or, no ta-se que as resistências elétricas das termopT lhas é da ordem de kn. Se compararmos estas re= sistências de filmes finos com resistência eletri ca de termopilhas tradicionais obtidas por outros processos, ou seja, termopilhas de fios metálicos que normalmente são da ordem de O, nota-se uma considerável diferença nesta característica. A aI ta resistividade nas termopilhas de filmes finos e atribuida as imperfeições existentes na estrutu ra cristalina dos condutores metálicos /9/. A ir= regularidade no reticulado reduz a mobilidade dos eletrons atraves da diminuição do livre caminho médio provocando coósequentemente o aumento da re. sistividade. Outro fator que contribui para o e= levado valor da resistênciaelétrica é a espessu ra da trilha metálica dos circuitos de termopares que é da ordem de 3000 °A e cujo valor representa em media menos'que 25% do livre caminho médio do bismuto (de 10.'1 2 10. °A) que é o metal dominan te do par metálico IlO( Do ponto de vista prático, resistência das termopilhas de filmes finos elevadas representa uma desvantagem em relação às termopilhas elabora das de fios, pois apresentam problemas de impedâõ cia ao serem acopladas aos sistemas de aquisições de dados, alem de que o efeito Johnson ou ruido Johnson é mais pronunciado,limitandoassim sua da Termopilha n9s 2 e 3 - estrela contendo 36 termopares de bismuto/antimÔnio depositados em sub$tratos de kapton 100 HN e acrílico com espes sura de 0,5 DDD. As especificações dos circuitos são: espessura do filme metálico 3000 °A para ambos substratos e resistências elétricas a 25 °c de 10.36 kO para o substrato de kapton e 7.2 kO pafa o acrilico, diâmetro dos circuitos 25 mm. A figura (2) mostra o esquema de termopares desta termopilha. detectividade. Figura 2 - Esquema do circuito de termopares termopilhas n9s 2 e 3 estrela. - - . As fi~uras 4,5,6 e 7 mostram os resultados de variaçao da resistência eletrica com a tempera tura para as quatro termopilhas. Nos eixos verti cal estão representados as variações das resisten cias eletricas em kO e no eixo horizontal as va= riações da temperatura em graus centigrados (oc). As curvas obtidas mostram que independentemen te do tipo e substrato da termopilha, a variaçãõ de resistência eletrica com a temperatura e linear dentro do intervalo de temperatura considera do. Esta característica é importante porque coeficiente de temperatura para estes substratos (kapton, mylar e acrílico) é aproximadamente cons tante dentro do mesmo intervalo. Os resultados mostram ainda que a variação para os substratós de kapton e mylar e negativa, ou seja, inclinação decrescente, e para o substrato de acrílico positivo, inclinação crescente. das Termopilha n9 4 Full-Black, contendo 30 ter mopares de bismuto/antimÔnio em substrato de my= lar (espessura da 25 ~m), com espessura de filme igual à 3000 °A, resistência elétrica ã 25 °c de 7.8 kO'e diâmetro de 25 mm. A figura (3) IDOstra o esquema do circuito desta termopilha. Para se obter as variações nas resistências elétricas das termopilhas as mesmas foram instala das em piranômetros e posicionadas em estufa com temperaturas variando entre -10 °c ã 50 oCo As re sistências elétricas foram medidas, após cada e= quilíbrio termico ter-se estabelecido, com um mul tímetro digital de 3 1/2 dígitos da E.C.B. do Brã sil. õ 96 Revista Brasileira de Apllcaç6es de VAcuo, voa. 10, D.1, 1991. 12 cientes de determinação rz, próximos dos 100% de confiabilidade. Os coeficientes angulares b ou seja variação das resistências elétricas com a temperatura 6R/6T para as quatro termopi1has foram. 11 Termopilha q... .c Ü .~ 10 ... 111 iii !AI 11: 1: -2.00 . 10 -z kO/oC Termopilha 2: -9.7 10 -3 kO/oC Termopilha 3: 1,36 10 -z kO/oC Termopilha 4: -1.0 .9- . 10~ kn/°C 9 8 . 8 - Â PONTOS EXPERIMENTAIS o -10 10 20 TEMPERATURA Figura 4 q... CURVA DE REGRESSÃO LINEAR 30 40 .c Õ z 7 '!AI ... li) iii !AI 11: ~ GRAUS CENTIGRAOO - Variação da Resistência Elétrica com a Temperatura na Termopilha Disco-Concên trico em Substrato de Kapton. - 12 6 Â PONTOS EXPERIMENTAIS -CURVA $ -I~ -io c: ... Figura 6 - .c ~ 11 DE REGRESSÃO UNEAR o 10 4!0 ~ 4°. ~ TEMPERATURA GRAUS CENTIGRAOO Variação da Resistência Elétrica com a Temperatura na Termopilha Estrela em substrato de Acrllico. .!AI ... !!! 10 111 !AI ao: 9 Â PONTOS EXPERIMENTAIS -CURVA DE REGRESSÃO LINEAR q 10 -zo -10 o 10 TEMPERATURA. Figura 5 20 GRAUS SO 40 ... 8 .c Ü z :10 CENTIGRAOO C"" - Variação li; da Resistência Elétrica com a Temperatura na Termopi1ha Estrela em Substrato de Kapton. ~7 11: Tais caracterrsticas deve-se ao elevado coeficiente de dilatação do acrllico e do baixo coeficiente de dilatação do kapton e mylar em relações aos metais na forma de filmes finos. O Quadro I mostra os resultados estatrsticos obtidos nas análises de regressão linear, onde são relatados os números de dados observados N, coeficientes de determinação rz, o valor de F a nrvel de 1% de significância e coeficiente angular. Analisando-se os resultados pode-se concluir que as equações de regressão se ajustaram bem aos dados, como mostram os elevados valores dos coefi 6 Â - PONTOS EXPERIMENTAIS CURVA DE REGRESSÃO LINEAR $ -10 -20 O 10 1'EMPJ;RATURA GRAUS Figura 7 97 - 20 W 40 :10 CENTIGRAOO Variação da Resistência Elétrica com a Temperatura na Termopilha Full-Black em Substrato de Mylar. Revista Brasileira de Aplicações de Vácuo, Vol. 10, D.l, 1991. TERMOPILHA DISCO-CONC2NTRICO SUBSTRATO KAPTON N KAPTON 10 r2(%) 1424.5 - mopilhas Resultados estatlsticos nos substratos 1 CT 2 a 2.01 10 9.43 = 0.96 10.86 10 2 . 100 . % kO/ C = 0,21% / kO . 100 . % kO/0 C = 0,09% / k\1 06 0.9877 0.9982 568.6 -0',9.10 2279,7 1.35.10 2 1.0610 2 das regressões Lineares para as quatro de kapton, mylar e acrllico. 2 ter- ã 40 °c e 0,19% / °c ã 0,21% / °c, para a termopi lha estrela em acrllico e termopilhadisco-concên trico em kapton no intervalode 15 à 35 oCo - AGRADECIMENTOS FAPESP (89/0746-1) C O MYLAR 09 1.128.5 2 Dividindo-se os coeficientes ~R/6T pelas respectivas resistências elétricas na temperatura am biente e multiplicando por 100, teremos em valor absoluto, os coeficientes de temperaturas (CT) percentuais para cada termopilha. Ou seja. 0 2 0 CT ACR1LICO 0.9960 -2.10 b FULL-BLACK 09 0,9943 F** Quadro 1 ESTRELA e FUNDUNESP (DFP-160/89) - pelo apoio financeirodo projeto. Aos rios João C. Omodei e Antonio A. Martins funcinacolabora ção datilografica e gráfica no trabalho. C BIBLIOGRAFIA CT 3 CT.. = 1.35 10 2 . 100 . % kO/0 C = 1.06 7.2 10 7.8 kO 2 . 100 . /0 kQ = 0,19% = 0,13% / OC Detectorsof Optical Radiation BUDDE, W. Physical Orlando: :Academic Press. 1983. DERENIlK, E.L. e CROWE.D.G. Thermal Detectors and Thermopile. In: Optical Radiation Detectors Nes York. John Wiley & Sons. 1984. / O C ESCOBEDO.J.F.j PASSOS, E.F., VIElRA, A.C. In: EN CONTRO NACIONAL DE CIENCIAS TÉRMICAS. 1Q~'Ãguas de Lindóia ($P) p. 113-115. 1988. ESCOBEDO, J.F.. PASSOS.E.F.. SOUZA,M.F. Revista Os resultados obtidos gara os coeficientesde temperatura entre 0,09% / C a 0,21% / °c, foram considerados bons quando comparados com os coefi cientes de temperatura de termopilha de fios metã licos utili~ados nos radiômetros solares situam dentro do intervalo 0,05% / °e i 0,25% / oCo '/lt, 12/. Os coeficientes de temperatura foram mais significativospara a termopilhaestrela em substratos de kapton (0,09% / °C), termopilha FullBlack em substrato de mylar (0,13% / oC). termopi lha estrela em acrllico (0,19% / °C) e termopilhã disco-concêntrico em kapton (0,2% / °C), respecti vamente. Nota-se pelo resultado, obtidos com as termopilhas em kapton, que o coeficiente de tempe ratura depende fortemente da configuração dos ter mopares. A diferença observada de duas ordensde grandezanestes coeficientespara as duas termopi lhas deveu-se ao fato que as resistências resul~ Cantes dos dois circuitos de termopares serem fun ção da dilatação diferencial, preferencial~ente no sentido tangencial na Termopilha estrela e radial na Termopilha disco-concêntrico. de Física Aplicada e Instrumentação,vol. 3, n9 2. p. 110-133, 1988. ESCOBEDO, J.F., LAGE,G., MARTINS, A.A. lha Preto/Brancode filmes finos e T~rmopi Aplicações em Piranômetro. 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