Praktikumsskriptum (Version vom 10. 2. 2015)
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Praktikumsskriptum (Version vom 10. 2. 2015)
TNF Praktikum Mikrosensorik SS 2015 Übungsleiter: Christian Diskus Martin Heinisch Wolfgang Hilber Bernhard Jakoby Erwin Reichel Institut für Mikroelektronik und Mikrosensorik Altenbergerstr. 69, 4040 Linz, Internet: www.ime.jku.at Inhaltsverzeichnis Allgemeine Informationen 1 1 Mikrofluidik 1.1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.2 Theorie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.2.1 Mischen von Fluiden/Partikeln . . . . . . . . . . . . . . . 1.2.2 Trennen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.2.3 Mikroemulsion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.3 Aufgabenstellung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.3.1 Mischen von Fluiden . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.3.2 Trennung von 1 µm und 5 µm Partikel in einer Suspension 1.3.3 Erstellen einer Mikroemulsion (optional) . . . . . . . . . . 1.4 Arbeiten im Labor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.4.1 Labor PC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.4.2 Syrenge Pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.4.3 Thin XXs Koffer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1.5 Formelzeichen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 Optische Sensoren 2.1 Fotowiderstand . . . . . . . 2.1.1 Inhalt . . . . . . . . 2.1.2 Allgemeines . . . . . 2.1.3 Equipment . . . . . 2.1.4 Aufgabestellung . . 2.1.5 Unterlagen . . . . . 2.2 Optokoppler . . . . . . . . . 2.2.1 Inhalt . . . . . . . . 2.2.2 Allgemeines . . . . . 2.2.3 Equipment . . . . . 2.2.4 Aufgabestellung . . 2.2.5 Unterlagen . . . . . 2.3 Positionsempfindliche Diode 2.3.1 Inhalt . . . . . . . . 2.3.2 Allgemeines . . . . . 2.3.3 Equipment . . . . . 2.3.4 Aufgabenstellung . . 2.3.5 Unterlagen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . i . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2 2 2 2 5 6 7 7 8 8 8 8 9 9 12 . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 13 13 13 14 15 16 18 18 18 21 22 22 23 23 23 24 25 25 2.4 Interferometer . . . . . . 2.4.1 Inhalt . . . . . . 2.4.2 Allgemeines . . . 2.4.3 Equipment . . . 2.4.4 Aufgabestellung 2.4.5 Unterlagen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 Anemometer 3.1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.2 Wärmeübergangszahl versus Massenstromdichte . . . 3.3 Betrieb mit konstantem Strom . . . . . . . . . . . . 3.4 Betrieb bei konstanter Temperatur . . . . . . . . . . 3.5 Einfluss der Temperatur . . . . . . . . . . . . . . . . 3.6 Analoge elektronische Schaltung eines Anemometers 3.7 Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3.8 Anforderungen, Aufbau und Messungen . . . . . . . 3.9 Unterlagen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4 Beschleunigungsmessung 4.1 Einleitung . . . . . . . . . . . . . . . . . 4.2 Equipment . . . . . . . . . . . . . . . . 4.2.1 Sensor . . . . . . . . . . . . . . . 4.2.2 Funkschnittstelle . . . . . . . . . 4.2.3 Zentrifuge . . . . . . . . . . . . . 4.3 Anforderungen, Aufbau und Messungen 4.3.1 Vorbereitende Arbeiten . . . . . 4.3.2 Messwerterfassung mit MATLAB 4.3.3 Durchzuführende Messungen . . 4.4 Unterlagen . . . . . . . . . . . . . . . . 5 Resonante Sensoren 5.1 Vorwort . . . . . . . . . . . . . . 5.2 Einführung . . . . . . . . . . . . 5.2.1 Elastizität . . . . . . . . . 5.2.2 Trägheitsmoment . . . . . 5.2.3 Schwingungen . . . . . . . 5.2.4 Der Gütefaktor . . . . . . 5.3 Aufgabenstellung . . . . . . . . . 5.3.1 Der Balkenschwinger . . . 5.3.2 Der Saitenschwinger . . . 5.3.3 Der Torsionsschwinger . . 5.3.4 Das Schwing-Viskosimeter . . . . . . . . . . . ii . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 26 26 28 28 29 . . . . . . . . . 31 31 31 33 37 39 40 41 42 43 . . . . . . . . . . 47 47 47 48 49 50 50 50 52 53 53 . . . . . . . . . . . 70 70 70 70 77 79 87 87 87 89 91 93 A Anhang A.1 Interferometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Literaturverzeichnis 94 94 100 iii Allgemeine Informationen Übungsskriptum und weitere Informationen Dieses Praktikum findet im SS 2015 das zweite Mal statt. Die Unterlagen finden Sie im Netz unter www.ime.jku.at → Teaching → Praktikum Mikrosensorik → Begleitmaterial Übungsmodus • Anwesenheitspflicht • Beurteilung: Je nach Übung können folgende Leistungen zur Notenfindung beitragen: – Vorbereitung (eventuell durch Einstiegsquiz oder mündlich abgefragt), – Engagement während der Übung, Funktionsfähigkeit und Originalität der Lösung(en), – Protokoll (am stärksten gewichtet). Termin • Block nach Übereinkunft 1 1 Mikrofluidik Betreut von Wolfgang Hilber Aufgebaut von Dominik Breuer 1.1 Einleitung Mikrofluidische Systeme haben in der Automatisierung und Parallelisierung von chemischen und biologischen Systemen an Bedeutung gewonnnen. Es werden nur sehr kleine Volumina von den zu untersuchenden Fluiden benötigt, um aussagekräftige Studien durchführen zu können. Es spielen hierbei einige physikalische Parameter eine wichtige Rolle. Es werden dimensionslose Zahlen vorgestellt, welche die Beziehungen zwischen physikalischen Phänomenen ausdrücken. Ziel dieses Forschungsgebietes der Mikrofluidik ist es, die Zusammenhänge zwischen makroskopischen Naturgesetzen und mikroskopischen Strukturen herzustellen. Mikrofluidische Apperaturen finden auch Verwendung in Bereichen der Medizin, Biologie und Chemie. Es können durch spezielle Strukturen, in der Größenordnung von Mikrometern, sogenannte ”Lab on a chip” Systeme realisiert werden. Proteomik, Kristallisation von Proteinen, DNA Analysen, Mikropumpen und weitere molekularbiologische Diagnosemethoden sind Anwendungsgebiete. Es ist wichtig, die verschiedenen Randbedingungen und insbesondere die Oberflächeneffekte zu kennen. Die dimensionslosen Zahlen helfen, die Verhältnisse zwischen den physikalischen Effekten näher zubringen. 1.2 1.2.1 Theorie Mischen von Fluiden/Partikeln Im Bereich der makroskopischen Fluidströmungen ist die Reynolds-Zahl einer der bekanntesten ”Kennzahlen”, welche Aussagen über Turbulenzen in einer Strömung treffen lässt. Re = ρU0 L0 . . . Reynolds-Zahl η (1.1) Im Bereich der Mikrofluidik ist die Reynolds-Zahl in der Ordnung 10−6 bis 101 , bei Durchflussraten von 1 µm/s bis 1 cm/s und einem Kanaldurchmesser von 1 µm bis 2 1 Mikrofluidik 1.2. Theorie 3 100 µm. Kleine Reynolds-Zahlen (< 1) lassen darauf schließen, dass hier die Strömungen laminar verlaufen. Turbulenzen sind jedoch die treibenden Effekte, welche das Mischen von Fluiden im Makrokosmos maßgebend bestimmen. In der Mikrofluidik ist die Zeit jener Faktor der das Mischen von Fluiden bestimmt. ”Without turbulent mixing or thermal convection, it would take about a year to smell your feet after taking off your shoes!” 1 Dieses Zitat sagt aus, dass die Diffusion in makroskopischen Größenordnungen, zu langsam vonstatten geht um in messbarer Zeit zu reagieren und interagieren. Im Gegensatz zu mikroskopischen Systemen, in denen die Strömungen laminar verlaufen und somit nur durch Diffusion oder geeignete Strukturen eine Mischung hervorgerufen werden kann. Die Zeit, die für verschieden Fluide benötigt wird um über einen bestimmten Kanalquerschnitt ein Homogenisiertes Fluid zu erzeugen, ist als Diffusionszeit τD bekannt und nach Gleichung 1.2 definiert. w2 . . . Diffusionszeit (1.2) D Die Diffusionszeit hängt somit quadratisch von der Kanalbreite w und der spezifischen Diffusionskonstante der verschiedenen Partikel ab. Die Diffusionskonstante ist eine Materialkonstante und beschreibt die Beweglichkeit der Partikel mit Größe a und der kinematischen Viskosität η. Diese wird laut Gleichung 1.3 berechnet. τD ∝ D∝ kB T . . . Diffusionskonstante 6πηa (1.3) Die Abhängikeit der Größe von Partikeln und deren Diffusionskonstanten ist in Abbildung 1.1 gezeigt.2 1 Zitat aus ”REVIEWS OF MODERN PHYSICS, VOLUME 77, JULY 2005” Die Werte für die Grafik sind aus ”REVIEWS OF MODERN PHYSICS, VOLUME 77, JULY 2005”. Diese Grafik ist gültig, unter der Annahme, dass die im Praktikum verwendeten Partikel die gleiche kinematischen Viskosität wie die aufgelisteten aufweisen. 2 1 Mikrofluidik 1.2. Theorie 4 Abbildung 1.1: Grafische Auswertung des Verhältnisses von Diffusionskonstante zu Größe von verschiedenen Partikel Der Weg Z, der für eine vollständige Homogenisierung der Fluide im Kanal notwendig ist, hängt von der Ströumgsgeschwindigkeit U0 , Diffusionskonstante D und von Kanalbreite w ab. U0 w2 . . . zurückgelegter Weg pro Zeit τD (1.4) D Der zurückgelegte Weg Z und die Kanalbreite w sind proportional zur Peclet-Zahl. Z ∝ U0 τD = U0 w Z = . . . Peclet-Zahl (1.5) w D Die Peclet-Zahl ist eine weitere dimensionlose Zahl, die beschreibt wie schnell Partikel mit bestimmten Größen in Fluidströmungen diffundieren. Die Diffusionskonstante gibt hierbei die Rate der Diffusion an und kann mit Gleichung 1.3 berechnet werden. Pe ∝ 1 Mikrofluidik 1.2. Theorie 5 Abbildung 1.2: Mischungen bei verschiedenen Strömungsgeschwindigkeiten In Abbildung 1.2 ist gezeigt, wie sich verschiedene Strömungsgeschwindigkeiten auf die Peclet-Zahl und auf die Homogenität, der gemischten Fluide im Kanal, auswirken. Die Ausschnitte sind in der Mäanderstruktur nach einer Weglänge Z = 54 mm aufgenommen worden und zeigen einen Zoom in die Struktur. Kanal Eins und Zwei sind für die zu vermischenden Fluide und der Dritte für das Ergebniss der Mischung. Beispiel: Aus Abbildung 1.2 ergibt sich für das Mischband (Bild b) eine Breite b von 105 µm und einem zurückgelegten Weg Z = 54 mm. Daraus kann man die Peclet-Zahl und weiters die Diffusionskonstante berechnen Pe = 1.2.2 Z Z = = 514.13 w b Trennen H-Filter Der H-Filter ist eine einfache Methode, um Partikel der Größe nach zu filtern ohne Verwendung einer Membran. Das Trennen funktioniert ähnlich, wie das Mischen von Fluiden. Hier wird ausgenützt, dass mit steigender Größe, wie in Abbildung 1.1 gezeigt, die Diffusionskonstante kleiner wird. Es wird die Kanallänge und die Strömungsgeschwindigkeit so gewählt, dass die Peclet-Zahlen zwischen den Partikeln sich stark unterscheiden. Die unterschiedliche Diffusionsfähigkeit der verschieden großen Partikeln wird sich hier zu Nutze gemacht. Große Partikel haben somit nicht die Zeit, quer über 1 Mikrofluidik 1.2. Theorie 6 den Kanal zu diffundieren und bleiben separiert. Die kleineren Partikel haben eine höhere Diffusionskonsante und diffundieren somit durch den Kanal in ein partikelfreies Laufmittel. Als Resultat beinhaltet der zweite Strom fast ausnahmslos die mobileren Partikel. Experimentell werden hier eine kolloidale Lösung und ein partikelfreies Laufmittel in den H-Filter eingebracht. In Abbildung 1.3 ist gezeigt, dass die Strömungen laminar verlaufen und die kleineren Partikel in das Laufmittelband diffundieren. Strukturen, wie zum Beispiel der H-Filter werden zur Messung von Konzentrationen, Diffusionskonstanten und Reaktionsabläufen verwendet. Abbildung 1.3: Endpunkt eines H-Filters als Trennmethode von verschiedenen Partikelgrößen. (1) Partikelfreies Laufmittel. (2) Kollodiale Lösung. (3) Abgetrennte kleine Partikel im Laufmittelband. (4) Partikel beider Größenordnungen. 1.2.3 Mikroemulsion Eine Emulsion ist ein Gemisch aus Flüssigkeiten, die sich aufgrund verschiedener Polaritäten nicht miteinander Mischen lassen und so heterogene Phasen bilden. Dieser Vorgang wird durch Oberflächenspannungen γ und Viskositäten η verschiedener Fluide maßgeblich beeinflusst. Ohne die Oberflächenspannung würden die beiden Fluide solange laminar nebeneinander laufen, bis ein Mischband wie in Abbildung 1.2, entsteht. Um kontrollierbare Tropfenemulsionen zu erzeugen, wird Wasser in einen Ölstrom injiziert. Dies ist in Abbildung 1.4 gezeigt. Es treten folgende konkurrierende Effekte auf: Die Fluide versuchen die Grenzflächen zu reduzieren, im Gegensatz dazu versuchen die 1 Mikrofluidik 1.3. Aufgabenstellung 7 viskosen Scherkräfte die Grenzfläche zu dehnen und in Pressrichtung zu ziehen. Diese entgegengesetzten Effekte destabilisieren die Grenzfläche zwischen den verschieden polaren Fluiden, sodass es zur Tropfenbildung, mit Radius R kommt. Dieser ist durch die Kanalhöhe h und der Capillary-Zahl Ca definiert. R∝ h γh = ηU0 Ca (1.6) Folglich ist erkennbar, dass mit geeigneter Einstellung der Strömungsgeschwindigkeit, der Durchmesser der Tröpfchen beinflussbar ist. Ca = ηU0 γ (1.7) Die Capillary-Zahl ist ein dimensionsloser Parameter, der immer Verwendung findet, wenn Grenzflächenspannungen und Viskositätsspannungen konkurrieren. Abbildung 1.4: Mikroemulsion in X-Struktur Wasser wird in Öl injiziert. Das Fluid 1 ist destilliertes Wasser, Fluid 2 ist Öl. Spezielle, geometrische Anordnungen der Kanäle kann zu unterschiedlich großen Tropfenbildungen führen. 1.3 1.3.1 Aufgabenstellung Mischen von Fluiden Mischung von gefärbten Fluiden Mischen Sie zwei Tintenfarben miteinander, bei verschiedenen Strömungsgeschwindigkeiten und verschiedenen Kanallängen sowie 1 Mikrofluidik 1.4. Arbeiten im Labor 8 -breiten. Werten Sie das Ergebnis aufgrund der Breite des Mischkanals aus3 . Berechnen Sie die spezifischen Peclet-Zahlen und interpretieren Sie diese. Mischung von Partikeln in Fluiden Mischen Sie zwei verschiedene Partikel mithilfe der Mäanderstruktur. (Hefe Partikelgröße = 2 µm − 5 µm, Silikon Partikelgröße = 1 µm) Berechnen sie dafür die notwendige Strömungsgeschwindigkeit des größeren Partikels, um über die Kanallängen aus Abbildung 1.7 eine vollständige Mischung durchzuführen und die theoretisch notwendige Zeit/Peclet Zahl die für diesen Vorgang betreffen. Interpretieren Sie die berechneten Werte und führen Sie den Versuch für eine Strömungsgeschwindigkeit von U0 = 25 µl/min durch. Interpretieren Sie das Ergebnis. 1.3.2 Trennung von 1 µm und 5 µm Partikel in einer Suspension Berechnen Sie zuerst die notwendige Strömungsgeschwindigkeit unter Ausnutzung der gesamten Trennstrecke aus Abbildung 1.8. Erstellen sie eine Suspension aus 30 µl der 1 µm auf 3 ml destilliertem Wasser und Bäcker Hefe oder 5 µm Silikon Partikel.4 Versuchen Sie durch Variation der Kanallänge und Durchflussgeschwindigkeit5 die Effektivität, durch Zählung der Partikel in einer vorher definierten Fläche, zu bestimmen. 1.3.3 Erstellen einer Mikroemulsion (optional) Es soll eine Mikroemulsion (Öl in Wasser) mithilfe der X-Struktur realisiert und anschließend das Ergebnis diskutiert werden. Färben Sie für diesen Versuch das Wasser mit einer Tintenfarbe um die Kontraste unter dem Mikroskop besser sehen zu können.6 1.4 1.4.1 Arbeiten im Labor Labor PC Um die Bilder der Kamera abrufen zu könnnen, ist ein PC am Arbeitsplatz aufgebaut. Benutzer PraktikumMikrosensorik Passwort student Tabelle 1.1: Zugangsdaten für PC 3 Verwenden Sie für die Auswertung das Programm Image J. http://imagej.nih.gov/ij/ Die 5 µm Silikon Partikel und die Bäcker Hefe werden in Spatelspitzen nach und nach zur Suspension hinzugefügt, bis etwa 30 % der Partikel unter dem Mikroskop große Partikel sind. 5 Die maximale Durchflussgeschwindigkeit liegt bei etwa U0 = 25 µl/min bei einem Spritzendurchmesser d = 10 mm, wenn diese überschritten wird, lösen sich die Steckverbindungen. 6 Die maximale Durchflussgeschwindigkeit liegt hier bei etwa U0 = 5 µl/min bei Spritzendurchmesser d = 10 mm, wenn diese überschritten wird lösen sich die Steckverbindungen. Elbesilöl B50 hat eine Oberflächenspannung von 18.5 mN/m bis 25 mN/m 4 1 Mikrofluidik 1.4. Arbeiten im Labor 9 Das für die Kamera notwendige Programm heißt ”Webcam videocap” und ist am Computer vorinstalliert7 . Abbildung 1.5: Webcam Programm Unter dem Reiter Capture können Videos oder Bilder aufgenommen werden.8 1.4.2 Syrenge Pump Durch Drücken der → und ← Tasten können die unterschiedlichen Menüpunkte angesteuert werden. Einige wichtige Reiter sind: • ”Dia” . . . zur Einstellung des Spritzendurchmessers • ”Vol” . . . zur Einstellung des injizierten Volumens • ”Ratio” . . . zur Einstellung der Flussmenge • ”Table” . . . hier können Eigenschaften von voreingestellten Spritzenparametern ausgewählt werden Mit der select Taste werden die verschiedenen Einstellungen ausgewählt und mit der enter Taste bestätigt. Bei der Syrenge Pump können nur Volumenströme angegeben werden in den Bereichen µl und ml pro min oder h. Diese Werte können im Menü ”Ratio” eingegeben werden. Vorsicht, der Spritzdendurchmesser muss zuerst im Menü ”Dia” eingestellt werden. 1.4.3 Thin XXs Koffer Splitter-Struktur Die vorgefertigte Struktur ist wie in Abbildung 1.6 gezeigt. Die zugehörigen Größenabmessungen, sind in Tabelle 1.2 angegeben. (Die Kanalnummer ist von links nach rechts in Abbildung 1.6 gezeigt) Kanal Länge 1 28.9 mm 2 28.9 mm 3 31.7 mm Breite Auslässe 320 µm 4 320 µm 4 320 µm 8 Tabelle 1.2: Werte für Splitter Struktur 7 Ein geeignetes Speichermedium sollte mitgenommen werden Zur Bearbeitung von Videos kann das Programm Avidemux http://avidemux.sourceforge.net/download.html verwendet werden, um einzelne Bilder aus einem Video zu schneiden. 8 1 Mikrofluidik 1.4. Arbeiten im Labor 10 Abbildung 1.6: Splitterstruktur Mischer-Struktur Die vorgefertigte Struktur ist wie in Abbildung 1.7 gegeben. Abbildung 1.7: Mäanderstruktur zum Mischen zweier Fluide Die zugehörigen Werte sind in Tabelle 1.3 angegeben. (Die Kanalnummer ist von links nach rechts für Abbildung 1.7 angegeben) Kanal Länge 1 21 mm 2 121 mm 3 66 mm 4 50 mm 5 16 mm Breite & Höhe 100 µm 640 µm 320 µm 320 µm 320 µm Volumen 0.2 µl 49.6 µl 6.8 µl 5.1 µl 1.6 µl Tabelle 1.3: Werte für Mäanderstruktur Trenn-Struktur (H-Filter) Die vorgefertigte Struktur ist wie in Abbildung 1.8 gegeben. Abbildung 1.8: H-Filter 1 Mikrofluidik 1.4. Arbeiten im Labor Die zugehörigen Kanallängen und Breiten sind in Tabelle 1.4 gegeben. Kanal Trennstrecke B 27 mm C 13.5 mm D 9 mm Trennstreckenbreite Tiefe 200 µm 50 µm 200 µm 50 µm 200 µm 50 µm Tabelle 1.4: Werte für Trenn-Struktur Die Querschnittsflächen der Ein- und Auslasskanäle sind 100 µm x 50 µm. X-Struktur Abbildung 1.9: X-Struktur zur Erzeugung von Mikroemulsionen Die zugehörigen Kanallängen und Breiten sind in Tabelle 1.5 gegeben. Kanal Länge A 5 mm B 5 mm C 5 mm D 35 mm Breite 50 µm 50 µm 50 µm 50 µm Tiefe 25 µm 25 µm 25 µm 25 µm Tabelle 1.5: Werte für X-Struktur 11 1 Mikrofluidik 1.5 1.5. Formelzeichen Formelzeichen Zeichen Bedeutung U0 charakteristische Strömungsgeschwindigkeit L0 charakteristische Weglänge ρ Dichte η dynamische Viskosität ν kinematische Viskosität γ Grenzflächenspannung ~σ Fluidspannungen (Kräfte pro Element und Fläche) R Radius der Tropfen D Diffusionskonstante a Molekül-Größe kB Boltzmann-Konstante w Kanalweite Pe Peclet-Zahl τD Diffusionszeit pro zurückgelegten Weglänge Z Z zurückgelegter Weg in Zeit τD h Kanalhöhe Ca Capillary Zahl Tabelle 1.6: Liste der verwendeten Symbole mit Bedeutung 12 2 Optische Sensoren Betreut von Christian Diskus Aufgebaut von Ehrentraud Hager Das Ziel dieser Übung ist, ein grundlegendes Verständnis für optische Bauelemente zu schaffen. Es sind insgesamt 4 verschiedene Schaltungen zu dimensionieren, aufzubauen und einige Kenngrößen zu messen. Als optisch-elektronische Sensoren werden all jene Bauelemente bezeichnet, die Licht, unter Ausnutzung des photoelektrischen Effekts in ein elektrisches Signal umwandeln oder einen von der einfallenden Strahlung abhängigen elektrischen Widerstand zeigen. Auch Applikationen, die ein solches strahlungsmessendes Bauelement beinhalten werden als optische Sensoren bezeichnet. Der Begriff Licht bezieht sich in der Optoelektronik nicht nur auf sichtbares Licht, sondern auch auf unsichtbares Infrarotlicht und ultraviolette Strahlung. 2.1 2.1.1 Fotowiderstand[1][2] Inhalt In dieser Teilübung soll anhand einer einfachen Schaltung die Funktion und die Eigenschaften eines Fotowiderstandes gezeigt werden. 2.1.2 Allgemeines Ein Fotowiderstand (LDR – light dependent resistor) ist ein lichtabhängiger Widerstand, bestehend aus einer amorphen Halbleiterschicht. Diese dünne Schicht aus fotosensitivem Halbleitermaterial wird bei der Herstellung auf eine Unterlage (üblicherweise Keramik) aufgebracht. Zwei kammartige Metallflächen, die sich gegenüberstehen, werden als elektrische Anschlüsse angebracht. Damit ergibt sich eine mäanderförmige Struktur der lichtempfindlichen Schicht. Abbildung 2.1 zeigt das Schaltzeichen für einen Fotowiderstand. 13 2 Optische Sensoren 2.1. Fotowiderstand 14 Abbildung 2.1: Schaltzeichen Funktion Das Funktionsprinzip des Fotowiderstandes beruht auf der Nutzung der Übergänge von Störstellen im Halbleiter. Wenn durch das Licht eine Störstelle ionisiert wird, wirkt sie für eine Zeit im Bereich einiger Millisekunden wie eine Dotierung und erhöht die elektrische Leitfähigkeit. Durch die relativ lange Zeit, die es braucht die Störstelle wieder zu neutralisieren, erhält man eine hohe Empfindlichkeit, aber auch die langsame Reaktion. Wegen der Beteiligung der Störstellen ist die Fotoleitung auch nicht nur vom Basismaterial, sondern auch der Mikrostruktur und Verunreinigungen abhängig. Ein Fotowiderstand hat also bei Lichteinfall einen geringeren Widerstand als bei Dunkelheit. Eigenschaften Fotowiderstände werden durch folgende Parameter gekennzeichnet: • Dunkelwiderstand (Widerstandswert des Fotowiderstands bei Dunkelheit), typisch 1 MΩ bis 100 MΩ; wird erst nach mehreren Sekunden Dunkelheit erreicht. • Hellwiderstand (Widerstandswert des Fotowiderstands bei 1000 lx), typisch 100 Ω bis 2 kΩ. • Ansprechzeit (Zeit, die nach Einschalten einer Beleuchtungsstärke von 1000 lx nach Dunkelheit vergeht, bis der Strom 65% seines spezifizierten Wertes erreicht hat), typischer Wert 1 bis 3 ms. • Spektralbereich (materialabhängige spektrale Empfindlichkeitskurve) Anwendung Cadmiumsulfid-Fotowiderstände werden beispielsweise in Belichtungsmessern von Kameras und in Dämmerungsschaltern oder diskret aufgebauten Optokopplern eingesetzt, wenn keine schnellen Reaktionszeiten gefordert sind. 2.1.3 Equipment Für den Aufbau der geforderten Schaltung (siehe Punkt 2.1.4) sollen die Bauteile aus dem Elektronikbaukasten verwendet werden. Das Datenblatt des zu verwendenden Fotowiderstandes finden Sie unter Punkt 2.1.5. Als Messgeräte stehen Ihnen Multimeter 2 Optische Sensoren 2.1. Fotowiderstand 15 und bei Bedarf die Oszilloskope im Praktikumsraum zur Verfügung. Zur Messung des Widerstandswertes über die Beleuchtungsstärke soll eine bereits vormontierte Halogen-Lampe verwendet werden. Diese kann mit bis zu 12V betrieben werden. Folgende Beleuchtungsstärken können bei unterschiedlichen Spannungen mittels der Halogenlampe erreicht werden. Die Werte aus Tabelle 2.1 wurde mit einem analoTabelle 2.1: Beleuchtungsstärke der Halogenlampe bei unterschiedlichen Spannungen UH an der Lampe Beleuchtungsstärke in Lux UH in V 480 0 640 5 1280 6 1670 7 2400 8 4800 9 6400 10 9600 11 12973 12 gen Belichtungsmesser ermittelt. Dieses Messgerät wird/wurde vor allem in der Fotografie eingesetzt. Es können dabei Blende, sowie Belichtungszeit bei einem bestimmten ISO-Wert abgelesen werden. Um die Beleuchtungsstärke in Lux angeben zu können ist folgende Berechnung notwendig: 250 B 2 · (2.1) E= ISO t E ist dabei die Beleuchtungsstärke in Lux, B gibt die Blendenzahl an und t die Belichtungszeit. Um bei der Messung der Widerstandswerte vergleichbare Beleuchtungssituationen zu erhalten, wie bei der Messung der Beleuchtungsstärken, sollte sich der LDR nur ungefähr 2 cm von der Halogenlampe entfernt befinden. Weiters sind alle Messungen bei eingeschaltetem Raumlicht erfolgt. Achten Sie auch darauf, dass die Halogenlampe bei längerem Betrieb sehr heiß wird! 2.1.4 Aufgabestellung • Entwerfen Sie eine Schaltungsvariante um mit einem Fotowiderstand einen Dämmerungsschalter zu realisieren. Dabei soll eine LED eingeschalten werden wenn kein bzw. wenig Licht auf den Widerstand fällt. • Überprüfen Sie die Funktionalität Ihrer Schaltung bei verschiedenen Beleuchtungsstärken (Verschiedene Lichtquellen) und stellen Sie dabei den Widerstandswert des LDR über die Beleuchtungsstärke dar (mind. 4 Messwerte). 2 Optische Sensoren 2.1.5 Unterlagen 2.1. Fotowiderstand 16 2 Optische Sensoren 2.1. Fotowiderstand 17 2 Optische Sensoren 2.2 2.2.1 2.2. Optokoppler 18 Optokoppler Inhalt Ziel dieser Teilübung ist es, eine Schaltung für eine Lichtschranke zu entwerfen, die als Sensor einen Reflexoptokoppler verwendet und dabei möglichst ohne großen Einfluss des Umgebungslichtes arbeitet. 2.2.2 Allgemeines[2][3] Optokoppler werden in der Optoelektronik vor allem dazu eingesetzt, ein Signal zwischen zwei galvanisch getrennten Stromkreisen mithilfe von Licht zu übertragen. Ein Optokoppler besteht typischerweise aus einem optischen Sender (z.B. Leuchtdiode) und einem optischen Empfänger (z.B. Fototransistor) und ist üblicherweise als IC, Reflexoder Gabelkoppler erhältlich. Um einen guten Wirkungsgrad zu erreichen, wird im Infrarotbereich gearbeitet. Die wichtigsten Kennzeichen eines Optokopplers sind: • Gleichstrom-Übertragungsverhältnis: Eines der wichtigsten Merkmale ist das Übersetzungsverhältnis α = IIae . Es wird im Wesentlichen von den Eigenschaften des Empfängers bestimmt. Die Werte liegen dabei zwischen 0,2% (Photodiode) über ca. 100% (Phototransistor) bis zu weit über 1000% (Darlington-Phototransistor). • Isolationsspannung: Diese Spannung ist abhängig von der Anordnung von Sender und Empfänger und deren Abstand zueinander. Weiters haben Isolationswerkstoff und der Abstand der Anschlüsse Einfluss auf diesen Kennwert. Übliche Isolationsspannungen sind 1500 bis 4000 V, in Sonderfällen bis zu 25 kV. • Isolationswiderstand: Dieser Widerstand wird zwischen Eingang und Ausgang gemessen und beträgt bis zu 1013 Ω. • Grenzfrequenz: Die Grenzfrequenz begrenzt den Arbeitsbereich des Optokopplers. Bei Photodiodenbzw. digitalen Optokopplern wird die Grenzfrequenz durch die Schaltzeiten der Sende-LED begrenzt. Die Grenzfrequenz bei der Verwendung von Fototransistoren liegt bei ca. 50 bis 200 kHz. Werden Photodioden verwendet, liegt die Grenzfrequenz bei über 10 MHz. Optokoppler, die mit PhotoMOS Transistoren arbeiten, sind am langsamsten. Hier befinden sich die Reaktionszeiten im Millisekundenbereich. Optokoppler weisen gegenüber z.B. Relais eindeutige Vorteile auf. Sie können in vergleichsmäßig kleinen Größen gefertigt werden und sind sowohl für analoge als auch 2 Optische Sensoren 19 2.2. Optokoppler digitale Signalübertragung geeignet. Zwischen Eingang und Ausgang entsteht eine viel geringere Koppelkapazität als bei anderen Kopplungsvarianten, es entstehen keine zusätzlichen Induktivitäten. Auf Grund der Verwendung von Licht zur Signalübertragung anstatt z.B. eines mechanischen Relais, ist mit geringeren Verzögerungszeiten des Ausgangssignales zu rechnen. Außerdem sind viel mehr Schaltzyklen möglich, da kein mechanischer Verschleiß auftritt. Die wenigen Nachteile dieser Kopplungsart werden durch den Aufbau mit Fotodioden bzw. PhotoMOS-Empfängern bedingt. So benötigen die Sendedioden einen externen Vorwiderstand. PhotoMOS-Empfänger weisen eine teilweise sehr niedrige Grenzfrequenz im Bereich von wenigen kHz auf, und der Eingangs- und Ausgangskreis ist im Vergleich mit herkömmlichen Relais empfindlicher gegen Überlast und Störimpulse. Das Einsatzgebiet von Optokopplern ist sehr weitreichend, fast überall dort, wo galvanische Trennung von Schaltkreisen notwendig ist, werden sie verwendet (meist als Schutz vor Überspannungen und Gleichtakt-Störimpulsen). Anwendung als Lichtschranke[4] Im folgenden Praktikumsversuch wird mit Hilfe eines Reflexoptokopplers eine Reflexlichtschranke realisiert. Hierbei wird auf einen Optokoppler in Reflexkoppler Bauform www.vishay.com zurückgegriffen. Sender und Empfänger befinden sich dabei parallel zueinander in einem Gehäuse (siehe Abbildung 2.2 aus dem Datenblatt des Reflexoptokopplers CNY70). V Reflecting medium (Kodak neutral test card) ~ ~~ ~ ~~ d Detector Emitter A C E C 95 10893 Fig. 2 - Test Condition Abbildung 2.2: Schematische Darstellung des Reflexoptokopplers CNY70 Das Lichtsignal aus der Sendediode wird dabei über einen Reflektor aufotherwise den FototransisBASIC CHARACTERISTICS (Tamb = 25 °C, unless specified) tor zurückgeworfen, der als Empfänger dient. Als Reflektor kann dabei eine spiegelnde Fläche dienen wie ein Stück Metall oder ein Spiegel. Besser ist eine diffus reflektierende 10 100 10 1 IC - Collector Current (mA) IF - Forward Current (mA) 1000 1 0.1 0.01 Kodak neu (white side d = 0.3 mm VCE = 5 V 2 Optische Sensoren 2.2. Optokoppler 20 helle Oberfläche, da so der Winkel zwischen Reflektor und Koppler unkritisch ist. Der große Vorteil von solchen Reflexlichtschranken ist, dass eine exakte Ausrichtung von Sender und Empfänger aufeinander nicht nötig ist, die Reichweite dabei ist jedoch begrenzt (im Versuch auf wenige Zentimeter). Im Praktikumsversuch wird eine Reflexlichtschranke aufgebaut, deren Schaltung auf eine möglichst hohe Unabhängigkeit und Unempfindlichkeit gegenüber dem Umgebungslicht ausgelegt ist. Reflexoptokoppler CNY70 Für den Aufbau einer Lichtschranke wird der Reflexoptokoppler CNY70 von Vishay verwendet. Aus dem Datenblatt in Unterpunkt 2.2.5 können die wichtigsten Parameter entnommen werden. Der CNY70 verfügt über einen Infrarot-Emitter mit einer Wellenlänge von 950 nm. Als Detektor dient ein Fototransistor. Dieses Bauteil wird auch gerne im Modellbau für Lichtschranken bei Eisenbahnen eingesetzt. Schaltungsaufbau Das Blockschaltbild in Abbildung 2.3 zeigt den grundlegenden Aufbau der Lichtschranke. Kernstück der Schaltung ist der LM567 (siehe Unterpunkt 2.2.5). Dieser IC ist ein Tone-Decoder, wie er auch im Audiobereich eingesetzt wird. In dieser Schaltung wird er dazu benutzt, die Lichtschranke unempfindlich gegenüber Umgebungslicht zu machen. Anzeige LED OUT send CNY70 LM567 receive Abbildung 2.3: Schematischer Aufbau der Lichtschranke Der Tone-Decoder erzeugt mithilfe eines Potentiometers (4.7 kΩ + 25 kΩ Poti) und eines Kondensators (33 nF), welche an die Timing-Pins des LM567 angeschlossen werden, eine einstellbare Rechteckspannung mit einem Spannungspegel zwischen 0 V und der Versorgungsspannung. Über das Potentiometer kann die Frequenz des Rechtecks eingestellt werden. Legt man nun am Eingang des LM567 ebenfalls ein periodisches Signal 2 Optische Sensoren 2.2. Optokoppler 21 VDD 25k Ω 4. 7k Ω I N 100nF Abbildung 2.4: Beschaltung des LM567 an, wird die Frequenz des Eingangssignals mit dem des Oszillators verglichen und bei Gleichheit ein High-Pegel am Ausgang (OUT) angelegt. Der Eingang des LM567 wird wie in Abbildung 2.4 dargestellt beschaltet. IN bezeichnet dabei den Eingangs-Pin des LM567. Mit dem Potentiometer und dem Widerstand wird das Ruhepotential des Signals festgelegt, das an den Eingang des LM567 angelegt wird. Der Kondensator dient der Entkopplung des Signals. Gemeinsam ergeben der Widerstand und der Kondensator einen Hochpass, der das gewünschte Signal (vom Fototransistor des CNY70) filtert und damit Einflüsse des Umgebungslichtes unterdrückt. 2.2.3 Equipment Folgende Geräte und Bauteile stehen Ihnen für diese Teilübung zur Verfügung: • Oszilloskop und Multimeter für die Messungen • Tone Decoder LM567 • Reflexoptokoppler CNY70 • Bauelemente des Elektronikbaukastens sowie Widerstands- und Kondensatorbestände des Institutes. 2 Optische Sensoren 2.2.4 2.2. Optokoppler 22 Aufgabestellung • Überlegen Sie eine geeignete Zusammenschaltung von Tone-Decoder und Reflexoptokoppler um die Lichtschranke besonders unempfindlich gegenüber Umgebungslicht zu machen. Beachten Sie dabei, dass die Sendediode mit ausreichend Strom versorgt wird. • Finden Sie eine geeignete Frequenz, bei der die Lichtschranke betrieben werden soll. Finden Sie dabei möglichst gut geeignete Werte für die Potentiometer. • Überprüfen Sie die Funktionalität Ihrer Schaltung. Schließen Sie dafür an den Ausgang der Schaltung eine LED an, um das Ausgangssignal des LM567 sichtbar zu machen. Beachten Sie dabei die Angaben zu den Ausgängen des LM567 aus dem Datenblatt. • Stellen Sie den Strom durch die Sende-Diode sowie die Kollektorspannung des Fototransistors mit Hilfe des Oszilloskops dar. • Stellen Sie das Signal, das vom Tone-Decoder erzeugt wird, mit Hilfe des Oszilloskops dar. 2.2.5 Unterlagen Unter den folgenden Links finden Sie die Datenblätter der beiden Bauteile LM567 und CNY70 sowie ein Anwendungsbeispiel einer solchen Schaltung. • LM567: http://doc.chipfind.ru/philips/se567n.htm • CNY70: http://www.vishay.com/docs/83751/cny70.pdf • Anwendungsbeispiel: http://www.trigonal.de/sel/moba_02.htm 2 Optische Sensoren 2.3 2.3.1 2.3. Positionsempfindliche Diode 23 Positionsempfindliche Diode - PSD [5][6] Inhalt Ziel ist es, mit Hilfe einer positionsempfindlichen Diode (kurz PSD) die Position, bzw. die Änderung der Position eines Laserstrahls zu bestimmen. Dabei sollen die wichtigsten Eigenschaften und Merkmale einer positionsempfindlichen Diode gezeigt werden. 2.3.2 Allgemeines Mithilfe eines Position Sensitive Detector (PSD) kann die ein- oder zweidimensionale Position eines Lichtpunktes gemessen werden. PSDs arbeiten dabei nach unterschiedlichen Prinzipien. Grundsätzlich erfolgt die Einteilung in 2 Klassen: • Analoge Sensoren • Diskrete Sensoren Bei den diskreten Sensoren kann man wiederum zwischen serieller und paralleler Auswertung unterscheiden. Diskrete Sensoren bestehen aus einer Sensormatrix, von deren einzelnen Felder (Pixel) die Belichtungswerte entweder seriell oder parallel ausgelesen werden und so die Position des Lichtpunktes detektiert werden kann. Im Praktikum werden aber nur analoge Sensoren verwendet. Diese bestehen aus einer großflächigen Photodiode (meist pin-Diode) und funktionieren nach einem ähnlichen Prinzip wie eine normale Photodiode. Das auf das aktive Gebiet fallende Licht generiert einen Photostrom, der durch die Diode fließt. Im Gegensatz zu einer herkömmlichen Photodiode verfügt eine PSD jedoch über mehrere Anschlüsse, sodass es zu einer Aufteilung des Photostromes unter den Kontakten, in Abhängigkeit der Position des auftreffenden Lichtstrahles, kommt. d b y x a c Abbildung 2.5: Schematischer Aufbau einer PSD In Abbildung 2.5 ist ein schematischer Aufbau einer PSD mit 4 Kontakten ersichtlich. Wird die Diode nun punktförmig belichtet, entsteht im Bereich der Belichtung ein Photostrom, der je nach Position in einem bestimmten Verhältnis über die an den Rändern liegenden Kontaktierungen abfließt. POSITION DETECTION ERR +50 0 2 Optische Sensoren 2.3. Positionsempfindliche Diode 24 -50 Aus den Strömen Ia , Ib , Ic und Id kann diese Position des Lichtpunktes berechnet werden: Ib − Id Ib + Id Ia − Ic y = ky Ia + Ic -150 -6 -5 -4 -3 -2 -1 0 kx und ky sind dabei Skalierungsfaktoren. -100 x = kx (2.2) (2.3) +1 +2 +3 +4 +5 +6 POSITION ON PSD (mm) 1-dimensionale PSD S3931 KPSDB0012EB Im Praktikum wird eine eindimensionale PSD von HAMAMATSU verwendet. Diese ist Conversion of spot positionInon the PSD bereits auf ■ einer Halterung fürformula den optischen Tischlight vormontiert. Abbildung 2.6 ist ein Schema desIfAufbaus Diode(photocurrent) ersichtlich. Da diese Diode einer Dimension output der signals I1 and I2 nur areinobtained die Position bestimmt, wird zur Berechnung Lichtpunktortes nur position eine der beiden from electrodes X1 and X2des , then the light spot obigen Gleichungen benötigt. (x) on the PSD can be found by the following formula. L X2 X1 x I2 - I1 2x = I1 + I2 L ACTIVE AREA KPSDC0010EA ■ Correction forSchematischer position detection Abbildung 2.6: Aufbau dererror PSD S3931 Position detection characteristics obtained by the above formula can be corrected to reduce position detection 2.3.3 Equipment errors. For example, the maximum position detection Für den Aufbau der geforderten stehen die Bauteile des Elektronikerror (±120 µm)Schaltung of S3931 canIhnen be significantly reduced baukastens, sowie das Widerstands- und Kondensatorsortiment des Institutes zur Verto ±9 µm by using the least square method. fügung. Als Operationsverstärker sollen die OPV AD797 von Analog Devices verwendet werden (Datenblatt siehe Unterlagen). Der Aufbau der Schaltung mit Laserdiode und Spiegel wird am optischen Tisch durchgeführt. Es werden Ihnen hierfür einige Halterungen und Mechanische Bauteile zur Verfügung gestellt. Um die geforderte Schaltung zu testen wird die Laserdiode LC-LMD-650-01-01-A verwendet (Datenblatt siehe Unterlagen). Dieses Bauteil ist bereits beschaltet und sollte mit 5V betrieben werden. ■D 2 Optische Sensoren 2.3.4 2.3. Positionsempfindliche Diode 25 Aufgabenstellung • Entwerfen Sie für die PSD S3931 mit dem im vorherigen Punkt aufgelisteten Equipment eine geeignete Beschaltung, um die Position des Lasers auswerten zu können. Die Berechnung der einzelnen Terme soll dabei so weit wie möglich mit den vorhanden Bauteilen realisiert werden (Hinweis: Nutzen Sie mind. 4 Operationsverstärker). • Bauen Sie die Schaltung mit der Laserdiode am optischen Tisch auf. • Testen Sie den Aufbau und Ihre Schaltung, indem Sie mit dem Laser direkt auf die positionsempfindliche Diode leuchten und für einen Punkt in der Mitte oder am Rand der sensitiven Fläche der PSD die Spannungen am Ausgang Ihrer Schaltung auswerten. 2.3.5 Unterlagen Unter den folgenden Links finden Sie die Datenblätter, die für diese Teilübung nützlich sein könnten: • PSD: http://www.hamamatsu.com/resources/pdf/ssd/s3931_etc_kpsd1002e06.pdf • Laserdiode: http://www.lasercomponents.com/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/diversopto/module/lc-lmd-650-01.pdf • Operationsverstärker: http://www.physics.ucdavis.edu/Classes/Physics116/P116C_lab/AD797.pdf 2 Optische Sensoren 2.4 2.4.1 2.4. Interferometer 26 Interferometer [2][7][8][9] Inhalt In dieser Teilübung soll das bekannte Michelson-Interferometer aufgebaut und das typische Interferenzmuster eine Laserdiode detektiert werden. Bitte beachten Sie für diese Teilübung im besonderen die, in Abschnitt 2.4.5 angeführten Sicherheitshinweise zur Benutzung der im Praktikum verwendeten Laserdiode! 2.4.2 Allgemeines Das Prinzip eines Interferometers besteht darin, einen Strahl bzw. Wellenzug mit sich selbst interferieren zu lassen. Dies kann durch 2 verschiede Methoden erreicht werden: Amplituden- oder Wellenfrontenaufspaltung. Interferometer werden zur Präzisionsmessung in den verschiedensten Bereichen eingesetzt. Einige Beispiele von Einsatzfeldern sind: Längenmessung, Brechzahlmessung, Winkelmessung sowie Spektroskopie. Wellenfrontenaufspaltung kann zum Beispiel beim Doppelspalt-Experiment beobachtet werden. Dabei trifft eine ebene Wellenfront auf eine Barriere mit 2 nebeneinander liegenden Spalten. Es wird davon ausgegangen, dass die Spalte schmal im Vergleich zur Wellenlänge sind. Jeder Spalt kann daher als Ausgangspunkt für eine Elementarwelle (Kugelwelle) betrachtet werden. Auf einem Schirm hinter den Spalten erscheint ein Interferenzmuster, da sich die beiden Elementarwellen überlagern (konstruktiv oder destruktiv). Das Michelson-Interferometer, welches in diesem Praktikum behandelt wird, wurde nach dem amerikanischen Physiker Albert Abraham Michelson benannt und erlangte vor allem durch das Michelson-Morley-Experiment, durch welches der sogenannte Lichtäther als Medium für die Ausbreitung des Lichts untersucht werden sollte, an Bekanntheit. Dieses Interferometer gehört zu den Messinstrumenten, die sich der Amplitudenaufspaltung bedienen. Interferenzmuster treten dabei nur dann auf, wenn die zeitliche sowie die räumliche Kohärenzbedingung zwischen den Teilstrahlen erfüllt ist. Das bedeutet, die elektromagnetischen Wellen der jeweiligen Lichtquellen müssen eine zeitlich und räumlich feste Phasenbeziehung aufweisen. Durch die hohe Frequenz von sichtbaren Licht ist dies für die meisten Lichtquellen (z.B. Laser) kaum realisierbar, daher werden im Interferometer die Strahlen einer einzigen Lichtquelle räumlich getrennt. Der Lichtstrahl wird dazu mit einem Strahlteiler in zwei oder auch mehrere Teilstrahlen mit reduzierten Amplituden aufgeteilt. Dieses Prinzip wird als Amplitudenaufspaltung bezeichnet. Die Teilstrahlen werden auf getrennte Bahnen geleitet und können daher unterschiedliche optische Wege durchlaufen, bevor sie mithilfe von Spiegeln oder Linsen wieder zusammengeführt werden. Bei der Zusammenführung überlagern sich die Strahlen nach dem Superpositionsprinzip. Die daraus resultierenden Interferenzmuster enthalten Informationen über Phasen und Intensitäten der Teilstrahlen. 2 Optische Sensoren 2.4. Interferometer 27 Schirm Strahlteiler Laser S2 S1 (beweglich) Abbildung 2.7: Schematischer Aufbau des Michelson-Interferometers In Abbildung 2.7 ist der grundsätzliche Aufbau eines Michelson-Interferometers ersichtlich. Als Lichtquelle wird ein Laser eingesetzt. Der Strahl aus dem Laser fällt auf einen Strahlteiler und wird mittels Transmission und Reflexion in 2 Teilstrahlen aufgeteilt. Diese werden an den Spiegeln S1 und S2 reflektiert und im Strahlteiler wieder zusammengeführt und auf den Schirm reflektiert bzw. transmittiert. Der Spiegel S1 ist dabei beweglich gelagert. Wird dieser Spiegel nun bewegt, entsteht eine Wegdifferenz 4s zwischen den beiden Teilstrahlen. Die dabei entstehende Phasenverschiebung führt zu konstruktiver bzw. destruktiver Interferenz der beiden Teilstrahlen am Schirm. Interferenzmuster treten nur auf, wenn die Wegdifferenz 4s der Teilstrahlen kleiner als die Kohärenzwellenlänge des als Quelle verwendeten Lasers ist. Ansonsten besteht keine eindeutige Phasenbeziehung mehr zwischen den Teilstrahlen. Bei komplett gleicher Ausbreitungsrichtung treten am Schirm Interferenzmuster in konzentrischen Kreisen auf. Sind die beiden Spiegel etwas zueinander verkippt wandeln sich die konzentrischen Kreise in Streifen um. Die Bewegung des Interferenzbildes am Schirm um einen Ringabstand entspricht gerade einer Phasendifferenz der Teilstrahlen um 2π bzw. der optischen Weglängenänderung um λ, also der Verschiebung des Spiegels S1 um λ/2. Ist die Bewegung des Spiegels mit 4s bekannt, so kann daraus die Wellenlänge berechnet werden mit 24s (2.4) λ= z z gibt dabei die Anzahl der Ringe (oder Streifen) an, um die das Bild verschoben worden ist. 2 Optische Sensoren 2.4.3 2.4. Interferometer 28 Equipment Das Interferometer soll auf dem vom Institut zur Verfügung gestellten optischen Tisch mit den vorhandenen mechanischen Bauelementen (Halterungen, Spiegel, Strahlteiler, usw.) aufgebaut werden. Als Laserdiode dient das Bauelement LC-LMD-650-01-01 von LASER-COMPONENTS (Datenblatt siehe Unterlagen). Diese wurde bereits auf einer Platine mit Spannungsregelung und Verpolungsschutz vormontiert. Die Schaltung soll bei ca. 5V betrieben werden. Um die Interferenzmuster am Schirm auch gut erkennen zu können soll ein Strahlaufweiter benutzt werden. Dieser besteht aus 2 Linsen (1 Konkavlinse, 1 Konvexlinse), die den Strahl um das 10fache aufweiten (siehe Abbildung 2.8). Die Divergenz des Laserstrahls wird dabei um denselben Faktor vergrößert. Einfallender Strahl Konvexe Linse Konkave Linse Abbildung 2.8: Schematischer Aufbau des Strahlaufweiters 2.4.4 Aufgabestellung • Bauen Sie das Michelson-Interferometer mit den vorhandenen Halterungen und optischen Bauelementen am optischen Tisch auf. • Protokollieren Sie das auftretende Interferenzmuster und experimentieren Sie mit verschiedenen Spiegelentfernungen. Wie ändert sich dabei das Muster am Schirm? • Berechnen Sie die Wellenlänge des Lasers aus der Betrachtung der auftretenden Interferenzmuster. 2 Optische Sensoren 2.4.5 2.4. Interferometer 29 Unterlagen Unter den folgenden Links finden Sie die Datenblätter oder Detailbeschreibungen, die für diese Teilübung nützlich sein könnten: • Datenblatt der Laserdiode: http://www.lasercomponents.com/fileadmin/user_upload/home/Datasheets/diversopto/module/lc-lmd-650-01.pdf • Detaillierte Beschreibung des Michelson-Interferometers: http://www.uni-oldenburg.de/fileadmin/user_upload/physik/ag /physikpraktika/download/GPR/pdf/Michelson_Interferometer.pdf http://accms04.physik.rwth-aachen.de/praktapp/teil2/anleitung2/v2_3.pdf Im Anhang A.1 finden Sie eine bebilderte Übersicht der wichtigsten mechanischen sowie elektronischen Komponenten aus denen das Interferometer aufgebaut werden soll. 2 Optische Sensoren 2.4. Interferometer 30 LC-LMD-650-01-01-A, Laserdiode rot Die Laserdiode LC-LMD-650-01-01-A von Laser Components arbeitet bei einer Wellenlänge von ca. 650 nm im roten Bereich des sichtbaren Lichts. Aufgrund der Wellenlänge und der Ausgangsleistung von 1 mW wird diese Diode als Laser der Laserschutzklasse 2 eingestuft. Diese Schutzklasse ist wie folgt definiert: Die zugängliche Laserstrahlung liegt im sichtbaren Spektralbereich (400 nm bis 700 nm). Sie ist bei kurzzeitiger Einwirkungsdauer (bis 0,25s) ungefährlich auch für das Auge. Zusätzliche Strahlungsanteile außerhalb des Wellenlängenbereiches von 400-700 nm erfüllen die Bedingungen für Klasse 1. Anmerkung: Bei Lasereinrichtungen der Klasse 2 ist das Auge bei zufälliger, kurzzeitiger Einwirkung der Laserstrahlung, d. h. bei Einwirkungsdauern bis 0,25s nicht gefährdet. Lasereinrichtungen der Klasse 2 dürfen deshalb ohne weitere Schutzmaßnahmen eingesetzt werden, wenn sichergestellt ist, dass weder ein absichtliches Hineinschauen für die Anwendung über längere Zeit als 0,25s, noch wiederholtes Hineinschauen in die Laserstrahlung bzw. spiegelnd reflektierte Laserstrahlung erforderlich ist. Von dem Vorhandensein eines Lidschlussreflexes zum Schutz der Augen darf in der Regel nicht ausgegangen werden: Für kontinuierlich strahlende Laser der Klasse 2 beträgt der Grenzwert der zugänglichen Strahlung (GZS) P grenz =1 mW (bei C6= 1). 3 Anemometer Betreut von Erwin Reichel Aufgebaut von Martin Kitzberger 3.1 Einleitung Die thermische Strömungsmessung gehört zu den direkten Massenstrommessverfahren, die es erlauben den Massenstrom (Einheit: kg/s) eines strömenden Mediums, unabhängig von der Dichte zu erfassen [10, S. 226]. Da man in der messtechnischen Praxis meist am Massenstrom als prozessbeeinflussende Größe interessiert ist, hat das Messverfahren weite Verbreitung in der industriellen Durchflussmessung gefunden. Die meisten großen Hersteller haben auch Mess- Armaturen mit diesem Messprinzip im Programm. Ein weiteres Anwendungsgebiet ist der Luftmassenmesser zur Bestimmung der pro Zeit angesaugten Luftmasse in modernen Kraftfahrzeugen mit Otto- oder Dieselmotor. Der gemessene Luftmassendurchsatz der Ansaugluft ist hierbei Teil der Lambda- Regelung zur Einstellung des vom Drei- Wege- Katalysators geforderten Verbrennungsluftverhältnisses [11, S. 14]. Ein weiteres klassisches Anwendungsgebiet der thermischen Strömungsmessung ist die Turbulenzmessung an umströmten Körpern. Hierbei wird meist ein sogenanntes Hitzdrahtanemometer verwendet, wobei durch den dünnen Messdraht eine sehr hohe Messdynamik und hohe Ortsauflösung möglich ist [12, S. 79]. Obwohl es inzwischen deutlich genauere, aber auch aufwändigere Messverfahren wie z.B. das LaserDoppler- Anemometer (LDA) gibt, hat die thermisches Strömungsmessung aufgrund des vergleichsweise günstigen Preises, der hohen Genauigkeit und der hohen Messdynamik einen festen Platz in der Strömungsmesstechnik [13, S. 154]. 3.2 Abhängigkeit der Wärmeübergangszahl von der Massenstromdichte des vorbeiströmenden Fluids Die thermische Strömungsmessung erlaubt wie wie schon erläutert die direkte Messung der Massenstromdichte qm in kg/s/m2 unabhängig von der Dichte. Daraus ergibt sich nach Multiplikation mit dem Rohrquerschnitt direkt der Massenstrom Qm [10, S. 226]. Die Massenstromdichte kann als strömungsmechanisches Analogon zur Stromdichte J in der Elektrotechnik gesehen werden wobei der Massenstrom der Stromstärke entspricht. 31 3 Anemometer 3.2. Wärmeübergangszahl versus Massenstromdichte 32 Die Nußelt Zahl N u ist eine dimensionslose Kennzahl der Ähnlichkeitstheorie des Wärmeübergangs und ist wie folgt definiert [14, S. 365]: Nu = αkonv l λ (3.1) Dabei bezeichnet αkonv die konvektive Wärmeübergangszahl, l die konstruktive Länge, also jene Länge der Oberfläche in Strömungsrichtung, die vom Medium überströmt wird und λ die Wärmeleitfähigkeit des vorbeiströmenden Mediums in W/mK. Nach Polhausen und Krouzhiline wird für Gase die Abhängigkeit der Nußelt Zahl von der Reynoldszahl Re und der stoffabhängigen Prandtl Zahl P r angegeben [14, S. 368]. √ √ 3 N u = 0.664 Re P r Tf Tw 0.12 (3.2) Die Beziehung gilt näherungsweise für eine längs angeströmte Platte oder einen quer angeströmten Zylinder, bei Reynoldszahlen kleiner 105 , für welche die Strömung als laminar angenommen wird. Tf und Tw sind Fluid- und Wandtemperatur in Kelvin. Die Reynoldszahl berechnet sich aus der Strömungsgeschwindigkeit v, der charakterischen Länge l, der Dichte ρ sowie der dynamischen Viskosität ηkin . Re = vlρ qm l = ηkin ηkin (3.3) Löst man Gleichung 3.1 nach αkonv auf und setzt für die Nußelt Zahl Gleichung 3.2 ein, erhält man die Abhängigkeit der Wärmeübergangszahl von der Massenstromdichte qm : s 0.12 Tf λ |qm |l √ 3 αkonv (qm ) = αkonv,0 + 0.664 Pr (3.4) l ηkin Tw wobei in obiger Gleichung die Dichte ρ nicht mehr vorkommt und die konvektive Wärmeübergangszahl somit nicht von der Dichte des strömenden Mediums abhängt. Es ist ersichtlich, dass eine Vielzahl von Parametern Einfluss auf die Wärmeübergangszahl nehmen, deren Größe praktisch oft nur schwierig quantitativ zu erfassen ist. Weiters ist die Wärmeübergangszahl selbst wieder von Widerstands- und Mediumstemperatur abhängig. Dies ist auch der Grund, dass thermische Anemometer in der Praxis für ein bestimmtes Strömungsmedium durch Messung mit einem Referenzmessgerät kalibriert und über Kennlinien linearisiert werden. Sie reagieren außerdem empfindlich auf Änderungen der Parameter wie zb. durch Verschmutzung, was zweifelsohne der größte Nachteil des Messprinzips ist. Bei den üblichen Temperaturunterschieden zwischen Fluid und Wand gilt: 0.12 Tf ≈1 Tw (3.5) 3 Anemometer 3.3. Betrieb mit konstantem Strom 33 Womit sich Gleichung 3.4 vereinfacht zu: λ αkonv (qm ) = αkonv,0 + 0.664 l s |qm |l √ 3 Pr ηkin (3.6) Ist man an der Strömungsgeschwindigkeit interessiert, kann Gleichung 3.6 mit der Beziehung qm = v ρ auf eine geschwindigkeitsabhängige Wärmeübergangszahl umgeschrieben werden, wobei dann Änderungen der Dichte berücksichtigt werden müssen. s |v|ρl √ λ 3 αkonv (v) = αkonv,0 + 0.664 Pr (3.7) l ηkin Allgemein werden in der Literatur verschiedene Abhängigkeiten der Nußelt- Zahl und damit der Wärmeübergangszahl von der Massenstromdichte angegeben, wobei die Formeln oft empirischen Charakter haben. Eine detaillierte Übersicht bietet hier der VDIWärmeatlas [15]. 3.3 Betrieb mit konstantem Strom (CCA- Constant Current Anemometer) Bei dieser zunächst naheliegenden Betriebsweise wird in einen temperaturabhängigen, elektrischen Widerstand ein konstanter Strom I eingeprägt. Dadurch heizt sich der Widerstand auf die Temperatur Tw,max auf, bis zugeführte und abgeführte Leistung gleich sind und er sich im thermischen Gleichgewicht befindet. Wird der Widerstand nun von einem Fluid oder Gas umströmt, wird zusätzliche Wärme durch erzwungene Konvektion abgeführt und der Widerstand kühlt ab bis sich ein neues thermisches Gleichgewicht einstellt, wobei sich sein Widerstandswert um ∆R ändert. Die Änderung des Widerstands ist ein Maß für die Massenstromdichte qm in kg/s/m2 des vorbeiströmenden Mediums. Die Änderung des elektrischen Widerstands kann durch den Betrieb mit Konstantstrom leicht durch die Änderung der Spannung ∆U am Widerstand detektiert werden. Für das statische und dynamische Verhalten dieser Betriebsweise wird im Folgenden ein einfaches thermisches Modell hergeleitet das Wärmeabgabe durch Wärmestrahlung vernachlässigt. Für die Temperaturabhängigkeit des elektrischen Widerstandes kann bei den üblichen verwendeten Widerstandsmaterialien und nicht zu großem Temperaturbereich die lineare Näherung mit den materialabhängigen Werten α , R0 , T0 verwendet werden: R(Tw ) = R0 (1 + α(Tw − T0 )) (3.8) Die elektrisch zugeführte Leistung Pel lautet: Pel = I 2 · R(Tw ) = I 2 R0 (1 + α(Tw − T0 )) (3.9) 3 Anemometer 3.3. Betrieb mit konstantem Strom 34 Die durch erzwungene Konvektion abgeführte Leistung Pv , ergibt sich aus der Widerstandsoberfläche A und der Temperatur des strömenden Mediums Tf : Pv = αkonv (qm ) A(Tw − Tf ) (3.10) Hierbei hängt der Wärmeübergangskoeffizient α noch von der Massenstromdichte qm des Mediums ab. Die Leistungsbilanz liefert mit der Masse m des Widerstands und seiner spezifischen Wärmekapazität c: mc dTw = I 2 R0 (1 + α(Tw − T0 )) − αkonv (qm )A(Tw − Tf ) dt (3.11) Wählt man T0 = Tf , was im Allgemeinen immer möglich ist, wenn als Bezugswiderstand R0 der Wert bei Tf gewählt wird, folgt für Gleichung 3.11: mc dTw = I 2 R0 (1 + α(Tw − Tf )) − αkonv (qm )A(Tw − Tf ) dt (3.12) durch die Substitution T̃ (t) = Tw (t) − Tf ergibt sich: dT̃ I 2 R0 α − αkonv (qm )A I 2 R0 = T̃ + dt mc mc (3.13) und für die Spannung am Widerstand U = IR0 (1 + αT̃ ) (3.14) Kennlinie eines CC- Anemometers Die Ruhelage von Gleichung 3.13 bei der das System im thermischen Gleichgewicht ist lautet: I 2 R0 (3.15) T˜s = A αkonv,s − I 2 R0 α Setzt man jetzt Gleichung 3.7 in Gleichung 3.15 ein so folgt: T˜s (v) = A αkonv,0 + λ l I 2 R0 q √ |v|ρl 3 0.664 ηkin P r − I 2 R0 α (3.16) wobei der Ausdruck: A αkonv,0 − I 2 R0 α (3.17) sicher immer größer null ist falls sich die Temperatur nicht mehr ändert, wie sich anhand von Gleichung 3.13 nachvollziehen lässt. Daher kann Gleichung 3.16 mit den positiven Konstanten a,b,c umgeschrieben werden zu: T˜s (v) = a √ b + c· v (3.18) 3 Anemometer 3.3. Betrieb mit konstantem Strom 35 100 90 80 Temperatur Ts in °C 70 60 50 40 30 20 10 0 0 2 4 6 Strömungsgeschwindigkeit v in m/s 8 10 Abbildung 3.1: Kennlinie lt. Gleichung 3.18, a = 100, b = 1, c = 0.7 Beispielhaft ist in Abbildung Abbildung 3.1 eine Kennlinie lt. Gleichung 3.18 dargestellt. Im Folgenden wird noch das dynamische Verhalten untersucht. Die allgemeine Lösung von Gleichung 3.13 für einen sprungförmigen Verlauf der Massenstromdichte qm (t) = σ(t) und damit verbunden einer sprungförmigen Änderung der Wärmeübergangszahl αkonv (t) = αkonv,s + k σ(t) k ∈ R+ sowie der Anfangsbedingung T (0) = Ts , wurde mit Wolfram Mathematica ermittelt und lautet: 2 s) − 1 Exp − t(I R0+AkT cmTs (3.19) T̃ (t) = Ts 1 + σ(t)AkTs 2 I R0 + AkTs Das System hat das Verhalten eines Verzögerungsglieds erster Ordnung mit konstantem Eingang und dem zeitabhängigen Parameter αkonv (qm (t))). Es handelt sich somit um ein zeitvariantes System und die Änderung eines Systemparameters wird benutzt, um auf die Strömungsgeschwindigkeit zu schließen. Aufgrund der hohen thermischen Zeitkonstanten ist die Grenzfrequenz nicht so hoch wie beim geregelten Betrieb mit konstanter Temperatur, bei dem keine „thermischen Kapazitäten“ umgeladen werden müssen [12, S. 94]. 3 Anemometer 3.3. Betrieb mit konstantem Strom 36 Listing 3.1: Mathematica Code zur allgemeinen Lösung von Gleichung 3.13 a l p h a k o n v s=IR^2∗R0∗ ( 1 / Ts+a l p h a ) /A; DSolve [ { T ’ [ t ]==(IR^2∗R0∗ alpha −( a l p h a k o n v s + k∗ H e a v i s i d e T h e t a [ t ] ) ∗A) ∗T [ t ] / (m ∗ c )+IR^2∗R0/ (m∗ c ) ,T[0]==Ts } ,T [ t ] , t ] ; FullSimplify [ % ] 3 Anemometer 3.4 37 3.4. Betrieb bei konstanter Temperatur Betrieb bei konstanter Temperatur (CTA-Constant Temperature Anemometer) Bei dieser Betriebsweise wird der Strom I durch den Widerstand so geregelt, dass dessen Temperatur T stets konstant bleibt. Kommt es durch das strömende Medium zu einer Abkühlung des Widerstandes, so sinkt auch augenblicklich sein Widerstandswert. Diese geringe Widerstandsänderung wird detektiert und ein Regler gleicht den erhöhten Wärmeverlust durch eine Stromerhöhung aus, bis wieder die Ausgangstemperatur und der nominelle Widerstandswert erreicht sind. Der dazu nötige Strom ist ein Maß für die aktuell am Widerstand abgeführte Wärmeleistung und damit für die Massenstromdichte des vorbeiströmenden Mediums. Da keine thermischen Kapazitäten mehr umgeladen werden müssen (Temperatur konstant), ist die mögliche Grenzfrequenz sehr viel größer als beim Betrieb mit Konstantstrom. In der Praxis wird diese Betriebsweise aufgrund der Vorteile fast ausschließlich eingesetzt [16, S. 91]. Das Verhalten soll anhand des thermischen Modells diskutiert werden. Gelingt es in Gleichung 3.13 mit einem idealen Regler mit der Stellgröße I = IR (t) die Temperatur des Widerstands konstant zu halten dT̃ /dt = 0, so lässt sich mit Gleichung 3.15 und dem aktuellen Reglerstrom IR (t) auf die aktuell vorhandene Wärmeübergangszahl αkonv (qm (t)) schließen. αkonv (qm (t)))AT˜s (3.20) IR2 (t) = R0 + T˜s R0 α Der aktuell nötige Reglerstrom IR (t) ist somit ein Maß für die Massenstromdichte qm und wird als Messwert verwendet. Die mögliche Messdynamik wird in dieser Betriebsweise ausschließlich durch die Güte der Regelung bestimmt. Kennlinie eines CT- Anemometers Üblicherweise wird zur Linearisierung der Kennlinie beim CTA Prinzip die King’sche Gleichung verwendet. Diese kann nun leicht aus den vorangegangenen Überlegungen hergeleitet werden [12, S. 97][10, S. 227]. Setzt man Gleichung 3.4 in die Gleichung für den nötigen Reglerstrom Gleichung 3.20 ein und berücksichtigt man das die Wandtemperatur Tw der konstanten Sensortemperatur entspricht, so ergibt sich: s 0.12 ! ˜s √ λ |q |l Tf A T 3 m αkonv,0 + 0.664 Pr (3.21) IR2 = l ηkin R0 + T˜s R0 α T˜s Werden die konstanten Terme zu a1 und b̃1 zusammengefasst, erhält man die King’sche Gleichung für die Massenstromdichte qm und den Reglerstrom IR . p IR2 = a1 + b̃1 |qm | (3.22) oder mit der Geschwindigkeit v v= qm ρ (3.23) 3 Anemometer 3.4. Betrieb bei konstanter Temperatur IR2 = a1 + b̃1 p p ρ|v| = a1 + b1 |v| 38 (3.24) wobei obige Gleichung konstante Dichte voraussetzt. Multipliziert man die linke und rechte Gleichungsseite mit dem Sensorwiderstand RS bei der fixen Temperatur T˜s : IR2 RS p UR2 = a1 + b1 |v| RS = RS (3.25) so lässt sich die King’sche Gleichung mit neuen Konstanten auch in Abhängigkeit der Spannung am Widerstand schreiben: p p UR2 = a1 + b1 |v| RS2 = a2 + b2 |v| (3.26) Die Konstanten ai , bi , b̃1 werden bei der Kalibrierung bestimmt und gelten dann für eine fixe Temperatur T˜s des Widerstands. Die Kennlinie für ein CTA- Anemometer ist beispielhaft in Abbildung 3.2 dargestellt. 1.6 1.4 Reglerstrom IR in A 1.2 1 0.8 0.6 0.4 0.2 0 2 4 6 Strömungsgeschwindigkeit v in m/s 8 10 Abbildung 3.2: Verhalten laut King’scher Gleichung (Gleichung 3.24) a = 0.05 , b = 0.5 Für die Empfindlichkeit ergibt sich der Ausdruck: E= dIR 1 b1 = p dv 4 a1 |v| + b1 |v|1.5 v 6= 0 (3.27) 3 Anemometer 3.5. Einfluss der Temperatur 39 wobei theoretisch lim E = ∞ gilt. In Wirklichkeit erfolgt bei sehr kleinen Strömungsv→0 geschwindigkeiten eine Abflachung der Kennlinie, da durch die Oberfläche des Heizwiderstandes die Gas- oder Fluidteilchen in Wandnähe erhitzt werden und es dadurch zu lokalen Dichteunterschieden und zu einer natürlichen Konvektion kommt, die immer für eine geringe Wärmeabfuhr sorgt. [12, S. 97] Es können somit nicht beliebig kleine Strömungsgeschwindigkeiten gemessen werden, wobei diese Grenze bei den üblichen Anwendungen kaum von Bedeutung ist, da die zu messende Strömungsgeschwindigkeit in der Regel deutlich größer als die Geschwindigkeit der natürlichen Konvektion ist. Jenes grundlegende Verhalten, dass bei geringen Strömungsgeschwindigkeiten die Empfindlichkeit am größten ist und dann abnimmt, gibt die King’sche Gleichung aber sehr gut wieder, wie die später folgenden Messungen beim CTA- Anemometer zeigen. 3.5 Einfluss der Temperatur Wie bereits aus der Leistungsbilanz (Gleichung 3.13) erkennbar ist, hat die Temperatur des strömenden Mediums einen erheblichen Einfluss auf den Messwert. Ist das strömende Medium kälter, so wird mehr Wärme abgeführt und es wird somit eine höhere Massenstromdichte oder Strömungsgeschwindigkeit angezeigt als in Wahrheit vorhanden ist. Dieser Einfluss muss in der Praxis kompensiert werden. 3 Anemometer 3.6 3.6. Analoge elektronische Schaltung eines Anemometers 40 Analoge elektronische Schaltung eines Anemometers Im Folgenden werden die während des Praktikums aufzubauenden Schaltungen, an denen die Messungen durchgeführt werden sollen vorgestellt. Anemometer mit konstantem Speisestrom Die Versorgung des Sensorwiderstands erfolgt mit einer Stromquelle. Eine Schaltungsmöglichkeit, die auch für höhere Stromstärken geeignet ist, ist in Abbildung 3.3 dargestellt. Verwendet man als Potentiometer einen Spindeltrimmer, so lässt sich der Strom I0 sehr genau einstellen. Alternativ kann natürlich jede andere Stromquelle z.B die Strombegrenzung eines Labornetzgeräts verwendet werden. Abbildung 3.3: Schaltung eines CCR- Anemometers Anemometer mit Regelung auf konstante Temperatur Grundidee ist eine Wheatstone- Brücke mit variabler Versorgungsspannung, welche über einen Regler nachgeregelt wird (vgl. Abbildung 3.4). Hat der Sensorwiderstand die durch RB2 einstellbare Übertemperatur Ts , so ist die Brücke abgeglichen und die Differenzspannung UD ist null. Wird an RS durch die Luftströmung zusätzliche Wärme abgeführt, so sinkt seine Temperatur und dadurch sein Widerstandswert. Die Differenzspannung Ud wird ungleich null. Die Differenzspannung wird über einen Instrumentenverstärker hochohmig abgegriffen, verstärkt und dann an den Eingang eines invertierenden PI- 3 Anemometer 3.7. Equipment 41 Abbildung 3.4: Schaltung eines CTA- Anemometers Reglers geführt. Die Ausgangsspannung des Reglers UR steigt und über einen U/I- Verstärker wird der Brückenstrom IB und damit der Strom durch RS solange erhöht, bis die Brücke wieder abgeglichen ist. Der nötige Brückenstrom IB oder die Brückenspannung UB , die nötig sind, um die Brücke abgeglichen zu halten, sind somit eine Maß für die aktuell an RS abgeführte Wärme und damit für die Massenstromdichte oder Strömungsgeschwindigkeit mit der er umströmt wird. Durch den I- Anteil des PI- Reglers tritt keine bleibende Regelabweichung auf. Über den Widerstand RB kann die Übertemperatur und über Rg die Verstärkung des offenen Regelkreises eingestellt werden. Durch den im Vergleich zu RDS,on hochohmigen Widerstand RB wird ein Anschwingen der Schaltung ermöglicht. Der NMOS- Transistor T1 wird bei dieser Schaltung nicht im Sättigungsbereich sondern im linearen Bereich betrieben. Er erwärmt sich dementsprechend stark, weshalb für den Dauerbetrieb ein Kühlkörper vorzusehen ist. 3.7 Equipment Als Sensorwiderstand RS wird ein Platin Dünnschicht Mikroheizer Heraeus Pt6.8M020 verwendet, der bereits auf eine kleine Lochrasterplatine gelötet ist. Die Messungen der Luftgeschwindigkeit werden mithilfe eines kleinen Windkanals durchgeführt der mit einem 12 V Serverlüfter betrieben wird. Als Referenzmessgerät dient ein axial- Flügelradanemometer. Bei Messungen mit dem Flügelradanemometer ist auf die korrekte Strömungsrichtung zu achten (Pfeil). Die Windgeschwindigkeit im Windkanal kann durch Änderung der Versorgungsspannung des Lüfters verstellt werden (max. 12V). Da insbesondere bei kleinen Strömungsgeschwindigkeiten die Regelbarkeit des Serverlüfters 3 Anemometer 3.8. Anforderungen, Aufbau und Messungen 42 durch das verzögerte Anlaufen schwierig ist, kann durch partielles Abdecken des Lüfters z.B. mit einem Papierstreifen eine niedrige Strömungsgeschwindigkeit bei gleichzeitig hoher Drehzahl des Lüfters eingestellt werden. 3.8 Anforderungen, Aufbau und Messungen Zunächst soll der Sensorwiderstand als CCR- Anemometer bei konstantem eingeprägten Strom I0 betrieben werden. Als Stromquelle kann z.B. die Schaltung lt. Abbildung 3.3 oder ein Labornetzgerät mit Strombegrenzung verwendet werden. Der Strom durch den Widerstand soll maximal ca. 250 mA betragen. • Stellen Sie das Widerstands Temperaturgesetz durch eine Messung der Raumtemperatur und des Widerstandswerts bei Raumtemperatur auf. Der lineare Temperaturkoeffizient des Sensorwiderstands ist im Datenblatt angegeben. • Prägen Sie drei verschiedene konstante Ströme zwischen 100 und 250 mA ein und bestimmen Sie jeweils den Sensorwiderstand bei verschiedenen Strömungsgeschwindigkeiten v durch eine Messung des konstanten Stroms I0 und der Spannung US am Sensorwiderstand RS . • Berechnen sie aus dem Sensorwiderstand und dem zuvor aufgestellten WiderstandsTemperaturgesetz die Sensortemperatur bei den jeweiligen Strömungsgeschwindigkeiten und stellen sie die Sensortemperatur über der Strömungsgeschwindigkeit dar. • Vergleichen Sie die Ergebnisse mit dem theoretischen Resultat Gleichung 3.18 und versuchen sie geeignete Konstanten (a,b,c) zu finden mit denen die Messwerte gut angenähert werden. Bauen Sie die Schaltung eines Anemometers mit Temperaturregelung Abbildung 3.4 mit den im Praktikum angegebenen Bauteilwerten auf. Als symmetrische Versorgungsspannung wählen Sie z.B. ±12 V. Achten sie darauf die Versorgungsspannung durch Einbau von Kondensatoren ( ≈ 1 µF) ausreichend zu stützen, da es sonst zu Schwingungen kommen kann. • Beobachten sie die Brückenversorgungsspannung UB mit dem Oszillosokop. Experimentieren sie mit verschiedenen Werten für Rg und versuchen Sie die Schaltung zu stabilisieren. Achtung !!! eine instabile Schaltung kann zur Zerstörung des Mikroheizers führen, deshalb immer eine Hand am Aus- Knopf. • Dokumentieren Sie das Anschwingen der Schaltung und die Reaktion auf eine Störung z.B. durch kurzes Auflegen des Fingers auf den Sensorwiderstand. • Messen sie die Spannung UB der Schaltung bei verschiedenen Strömungsgeschwindigkeiten. Erstellen sie ein Diagramm, das den Zusammenhang der Spannung UB über der gemessenen Strömungsgeschwindigkeit zeigt. 3 Anemometer 3.9. Unterlagen 43 • Versuchen sie geeignete Parameter für die King’sche Gleichung (Gleichung 3.26) zu finden so das der quadratische Fehler zwischen Messwerten und Kurve minimiert wird. Sie können für UR direkt die gemessene Brückenspannung UB verwenden. • Wie wirken sich Änderungen der Lufttemperatur aus, wie könnten diese bei der Schaltung lt. Abbildung 3.4 kompensiert werden. 3.9 Unterlagen Pt 6,8 M 1020 Der Mikroheizer eignet sich für Anwendungen im Automobilbereich, z. B. für den Aufbau von Heißfilmanemometer, für die Gebäude-, Heizungs- und Klimatechnik sowie für Anwendungen im medizinischen und analytischen Bereich. Besondere Eigenschaften sind sehr kurze Ansprechzeiten, hohe maximale Einsatztemperatur und hervorragende Langzeitstabilität. Nennwiderstand R 0 6,8 Ohm bei 0°C Toleranz +- 0,50 Ohm Bestellnummer 32 208 172 Andere Widerstandswerte auf Anfrage! Temperaturbereich - 40 °C bis + 500 °C; der Strom zum Aufheizen sollte so gewählt sein, dass die maximale Temperatur nicht überschritten wird Temperaturkoeffizient TK = 3850 ppm/K Konstruktion Fotolithografisch strukturierte Platin-Dünnschicht auf 0,15 mm dickem Al2O3 - Substrat; Passivierung durch Glasabdeckung Anschlussdrähte Pt, Ø 0,1 mm; axiale Zugfestigkeit > 1 N Langzeitstabilität Max. R0-Drift 0,04% nach 1000 h bei 500 °C Erschütterungsfestigkeit Min. 40 g Beschleunigung bei 10 bis 2000 Hz; abhängig von Montageart Stoßfestigkeit Min. 100 g Beschleunigung mit 8ms Halb-Sinus Welle; abhängig von Montageart Umgebungsbedingungen Einsetzbar bei hohen Luftfeuchtigkeiten und bedingt bei aggressiven Luftschadstoffen Isolationswiderstand > 100 MΩ bei 20 °C Aufheizzeit 300 ms auf 200 °C mit Imax < 2 A Hinweis Andere Toleranzen, Widerstandswerte und Drahtlängen sind auf Anfrage lieferbar. Technische Änderungen behalten wir uns vor. Alle technischen Angaben sind Beschaffenheitsangaben und sichern keine Eigenschaften zu. Heraeus Sensor Technology GmbH, Reinhard-Heraeus –Ring 23, 63801 Kleinostheim, Deutschland Telefon: +49 (0) 6181/35-8098, FAX: +49 (0)6181/35-8101, E-Mail: [email protected], Web:www.heraeus-sensor-technology.de Stand: 04/2004 www.fairchildsemi.com LM2904,LM358/LM358A,LM258/ LM258A Dual Operational Amplifier Features Description • Internally Frequency Compensated for Unity Gain • Large DC Voltage Gain: 100dB • Wide Power Supply Range: LM258/LM258A, LM358/LM358A: 3V~32V (or ±1.5V ~ 16V) LM2904 : 3V~26V (or ±1.5V ~ 13V) • Input Common Mode Voltage Range Includes Ground • Large Output Voltage Swing: 0V DC to Vcc -1.5V DC • Power Drain Suitable for Battery Operation. The LM2904,LM358/LM358A, LM258/LM258A consist of two independent, high gain, internally frequency compensated operational amplifiers which were designed specifically to operate from a single power supply over a wide range of voltage. Operation from split power supplies is also possible and the low power supply current drain is independent of the magnitude of the power supply voltage. Application areas include transducer amplifier, DC gain blocks and all the conventional OP-AMP circuits which now can be easily implemented in single power supply systems. 8-DIP 1 8-SOP 1 Internal Block Diagram OUT1 1 IN1 (-) 2 IN1 (+) 3 GND 4 8 7 OUT2 + VCC - 6 IN2 (-) + 5 IN2 (+) Rev. 1.0.2 ©2002 Fairchild Semiconductor Corporation IRF530, SiHF530 Vishay Siliconix Power MOSFET FEATURES PRODUCT SUMMARY VDS (V) • • • • • • • 100 RDS(on) () VGS = 10 V 0.16 Qg (Max.) (nC) 26 Qgs (nC) 5.5 Qgd (nC) 11 Configuration Single Dynamic dV/dt Rating Repetitive Avalanche Rated 175 °C Operating Temperature Fast Switching Ease of Paralleling Simple Drive Requirements Compliant to RoHS Directive 2002/95/EC Available RoHS* COMPLIANT D DESCRIPTION TO-220AB Third generation Power MOSFETs from Vishay provide the designer with the best combination of fast switching, ruggedized device design, low on-resistance and cost-effectiveness. The TO-220AB package is universally preferred for all commercial-industrial applications at power dissipation levels to approximately 50 W. The low thermal resistance and low package cost of the TO-220AB contribute to its wide acceptance throughout the industry. G G D S S N-Channel MOSFET ORDERING INFORMATION Package TO-220AB IRF530PbF SiHF530-E3 IRF530 SiHF530 Lead (Pb)-free SnPb ABSOLUTE MAXIMUM RATINGS (TC = 25 °C, unless otherwise noted) PARAMETER SYMBOL LIMIT Drain-Source Voltage VDS 100 Gate-Source Voltage VGS ± 20 Continuous Drain Current VGS at 10 V TC = 25 °C TC = 100 °C Pulsed Drain Currenta ID IDM Linear Derating Factor Single Pulse Avalanche Energyb EAS UNIT V 14 10 A 56 0.59 W/°C 69 mJ Currenta IAR 14 A Repetitive Avalanche Energya EAR 8.8 mJ Repetitive Avalanche Maximum Power Dissipation TC = 25 °C Peak Diode Recovery dV/dtc Operating Junction and Storage Temperature Range Soldering Recommendations (Peak Temperature) Mounting Torque for 10 s 6-32 or M3 screw PD 88 W dV/dt 5.5 V/ns TJ, Tstg - 55 to + 175 300d °C 10 lbf · in 1.1 N·m Notes a. Repetitive rating; pulse width limited by maximum junction temperature (see fig. 11). b. VDD = 25 V, starting TJ = 25 °C, L = 528 μH, Rg = 25 , IAS = 14 A (see fig. 12). c. ISD 14 A, dI/dt 140 A/μs, VDD VDS, TJ 175 °C. d. 1.6 mm from case. * Pb containing terminations are not RoHS compliant, exemptions may apply Document Number: 91019 S11-0510-Rev. B, 21-Mar-11 www.vishay.com 1 This datasheet is subject to change without notice. THE PRODUCT DESCRIBED HEREIN AND THIS DATASHEET ARE SUBJECT TO SPECIFIC DISCLAIMERS, SET FORTH AT www.vishay.com/doc?91000 4 Beschleunigungsmessung Betreut von Erwin Reichel Aufgebaut von Martin Kitzberger 4.1 Einleitung Durch die rasante Verbreitung von Unterhaltungselektronik insbesondere Smartphones in den letzten Jahren, sind die Preise für Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren stark gesunken. Mittlerweile ist eine kaum abzählbare Anzahl an Sensortypen verfügbar. Die Beschleunigungs und Drehratensensoren werden oft zu einer sogennanten Inertial Measurement Unit (IMU) kombiniert, die es erlauben die Lage im Raum Anhand von drei orthogonalen Drehraten- und Linearbeschleunigungssensoren zu bestimmen. Die Fusionsalgorithmen werden zunehmend direkt auf den Sensor ausgelagert um die Anwendung einfach zu machen. Moderne Sensoren wie sie z.B. in der Unterhaltungselektronik eingesetzt werden, sind meist als mikromechanische Systeme ausgeführt. Die Sensoren sind Feder- Masse Systeme bei denen die „Federn“ durch dünne Silizium Stege realisiert werden. Die Auswertung der Sensoren kann dabei z.B. nach dem Differenzialkondensator Prinzip erfolgen, indem die Kapazität durch die Auslenkung der Masse verändert wird. Das Feder- Masse System ist hierbei so abgestimmt, dass die Messung beschleunigungssensitiv durchgeführt wird, was bedeutet das die Auslenkung der Masse proportional der Beschleunigung ist. Dies wird durch eine sehr steife Aufhängung (große Federkonstante) bei gleichzeitig kleiner Masse und kleiner Dämpfung erreicht. Die Frequenz der zu messenden Beschleunigungen müssen zur beschleunigungssensitiven Messung, unterhalb der Eigenkreisfrequenz des Feder Masse Systems liegen (vgl. [10, S. 370]), da es sonst zu einer resonanten Anregung des mikromechanischen FederMasse Schwingers im Sensor kommt und der Messwert dadurch verfälscht wird. Daraus ergibt sich die Anforderung an die Aufhängung des Sensors, hochfrequente Schwingungen, die der zu messenden Beschleunigung überlagert sind, zu entkoppeln [10] [17] [18] [19]. 4.2 Equipment Zur Erfassung der Linearbeschleunigungen an beliebigen Messpositionen wird im Praktikum ein funkbasierter Messdatenlogger verwendet. Ein Funktionsschema des Aufbaus 47 4 Beschleunigungsmessung 4.2. Equipment 48 ist in Abbildung 4.1 dargestellt. Es besteht aus Sensor, Mikrocontroller, Funkkanal und MATLAB- Interface. Als Mikrocontroller wird ein STM32F4- Discovery Board verwendet. Dieser übernimmmt die 12 Bit Digital- Analogwandlung der Sensorspannungen sowie die Umwandlung in einen seriellen Datenstrom, der von den Funkmodulen übertragen wird. Abbildung 4.1: Funktionsschema Beschleunigungslogger 4.2.1 Sensor Als Sensor wird ein linearer 3-Achsen-Beschleunigungssensor ADXL325 verwendet. Der Sensor verfügt für jede Achse über einen analogen Spannungsausgang und einen Messbereich von ±5 g. Durch externe Beschaltung mit einem Kondensator (Cext ) kann die 4 Beschleunigungsmessung 4.2. Equipment 49 Grenzfrequenz des Sensors eingestellt werden. Diese berechnet sich lt. Datenblatt zu: f−3dB = 1 2π · 32 kΩ · Cext (4.1) wobei immer ein Mindestwert von Cext = 4.7 nF empfohlen wird. Im Aufbau der für das Praktikum verwendet wird ist die Kapazität mit Cext = 100 nF festgelegt, was eine Grenzfrequenz des Sensors von ca. 50 Hz ergibt. Die Messwerte werden später bei der Messung mit einer Samplerate von 200 Messwerten pro Achse und Sekunde gemessen und übertragen. Somit ist das Nyquist- Abtasttheorem eingehalten und man kann davon ausgehen, dass Frequenzen bis ca. 50 Hz dargestellt werden können. 4.2.2 Funkschnittstelle Als Funkschnittstelle wird XBee verwendet, das auf dem Übertragungsstandard ZigBee (IEEE 802.15.4) basiert. Es ermöglicht den Aufbau von Funknetzwerken, wie beispielsweise hier zur Sensorsignalerfassung. Die maximale Datenübertragungsrate beträgt 250 kBit/s. Für den Messdatenlogger wird das kostengünstigste Modul mit der ChipId: 4214A verwendet. Dieses hat 1 mW Sendeleistung und lt. Datenblatt eine Indoor/Outdoor Reichweite von 30 bzw. 100 m , wobei dieser Wert natürlich stark von den lokalen Gegebenheiten abhängt, jedoch für diese Anwendung ausreichend ist. Konfiguration Die XBee Module sind für das Praktikum schon richtig konfiguriert evtl. kann bei Fehlfunktion oder Tausch eines Moduls eine Neukonfiguration nötig sein, das Vorgehen wird deshalb hier kurz beschrieben. Die Konfiguration der XBee Module erfolgt mit der Software XCTU vom XBee Hersteller Digi- International, welche frei auf deren Homepage erhältlich ist. Die XBee Module werden per serieller Schnittstelle konfiguriert. Für die Verbindung mit dem Computer ist daher noch ein USB auf RS232 Wandler erforderlich. Im Praktikum wird ein SainSmart XBee USB Adapter verwendet, der den Chip zur USB auf RS232 Wandlung bereits enthält und ein direktes Aufstecken des XBee Moduls ermöglicht (vgl. Abbildung 4.2). Es muss bei beiden Modulen die gewünschte (gleiche) Baudrate sowie die gleiche ID eingestellt werden. Nach dem Öffnen des Programms XCTU wird das angeschlossene XBEE Modul über den Button Add Radio Module hinzugefügt. Im erscheinenden Dialog wird der entsprechende COM- Port ausgewählt. Im Auslieferungszustand ist die Baudrate zur Kommunikation auf 9600 baud eingestellt. Durch Klicken des Finish Buttons öffnet sich die Konfigurationsmaske. Bei beiden Modulen wird der gleiche Channel und die gleiche PAN-ID eingestellt sowie die Baudrate auf 115200 Baud erhöht. Durch Klicken des Buttons Write Radio Settings wird die Einstellungen auf das angeschlossene Modul übertragen. Zu 4 Beschleunigungsmessung 4.3. Anforderungen, Aufbau und Messungen 50 beachten ist, dass ab diesem Zeitpunkt für eine erneute Verbindung mit XCTU die Baudrate auf 115200 Baud einzustellen ist. Abbildung 4.2: RS232- USB Adapter mit aufgestecktem XBee- Modul 4.2.3 Zentrifuge Als „Beschleunigungsgenerator“ wird eine kleine Zentrifuge verwendet, welche mit einem Schrittmotor angetrieben wird, was die exakte Einstellung der Drehzahl ermöglicht (vgl. Abbildung 4.3). Die Ansteuerung des Schrittmotors (200 Schritte pro Umdrehung) erfolgt im Halbschrittbetrieb mit einer Treiberschaltung bestehend aus einem L297 und einem L298 Chip (RN-Step297). Die Schaltung kann direkt mit einem Funktionsgenerator angesteuert werden, bei jeder fallenden Flanke am Takteingang dreht sich der Schrittmotor um einen Halbschritt weiter. Insgesamt ergeben sich somit 400 fallende Flanken für eine Umdrehung der Zentrifuge. 4.3 4.3.1 Anforderungen, Aufbau und Messungen Vorbereitende Arbeiten Zur Inbetriebnahme gehen Sie wie folgt vor: • Schließen Sie den Akku am rechten äußeren Anschluss der Datenloggerplatine an. Achten Sie auf korrekte Polung! (vgl. Abbildung 4.4 und Abbildung 4.6). 4 Beschleunigungsmessung 4.3. Anforderungen, Aufbau und Messungen 51 • Stecken Sie das XBee- Modul auf den SainSmart XBee USB Adapter auf und verbinden Sie die Einheit per USB Kabel mit dem Laptop. (Achten Sie auf korrekte Aufsteckrichtung!) • Öffnen Sie das Terminal- Programm und starten Sie einen Lesevorgang von der seriellen Schnittstelle am COM- Port des angeschlossenen XBee Moduls (Nummer ersichtlich im Windows Gerätemanager). Falls keine Werte gesendet werden, wiederholen Sie den Versuch und führen Sie ggf. die oben beschriebene Konfiguration der XBee- Module mit XCTU durch. Falls Werte gesendet werden wählen sie unter dem Drop-Down-Menü newline at den Eintrag LF für linefeed, um eine übersichtlichere Darstellung zu erhalten. Der Messdatenlogger sendet jetzt die Rohwerte der drei ADC- Kanäle (3 Achsen) 100 mal pro Sekunde. Die Formatierung eines Datenpakets ist in Abbildung 4.5 dargestellt. Die Samplerate kann durch Senden eines UART Kommandos an den Mikrocontroller verstellt werden. Dies kann zum Beispiel direkt vom Terminal- Programm aus erfolgen (durch Senden des entsprechenden ASCII Befehls) wobei die Auswirkung auf die Sendefrequenz gleich ersichtlich ist. Tabelle 4.1 zeigt die gesendete ASCII- Nachricht und die dazugehörige Samplerate, die dadurch am Mikrocontroller eingestellt wird. Für die weiteren Messungen muss hier nichts mehr umgestellt werden, die richtige Konfiguration des Loggers erfolgt automatisch durch das MATLAB Messprogramm. Als nächstes Tabelle 4.1: UART gesendete Zeichenfolge “s001t” “s010t” “s020t” “s050t” “s100t” “s125t” “s200t” send Befehle zum Umstellen der Samplerate eingestellte Samplerate 1 Sample/s 10 Samples/s 20 Samples/s 50 Samples/s 100 Samples/s (Default- Wert nach Einschalten) 125 Samples/s 200 Samples/s kann der Beschleunigungssensor angeschlossen werden (vgl. Abbildung 4.4 und Abbildung 4.6): • Schließen Sie das zweipolige Versorgungskabel des Beschleunigungssensors an den 3 V Anschluss der Platine an, die Polarität ist seitlich am Stecker angegeben. • Schließen sie das vierpolige Signalkabel des Beschleunigungssensors an der Platine an, der dunklere Draht ist GND und muss rechts liegen. Im nächsten Schritt erfolgt die Inbetriebnahme der Zentrifuge: • Schließen Sie den Schrittmotor an der vierpoligen Schraubklemme der Steuerungsplatine an. Die Nummerierung erfolgt von links nach rechts: 1-orange, 2-blau, 3-rot, 4-gelb. Die restlichen Kabel bleiben unbeschaltet (vgl. Abbildung 4.8). 4 Beschleunigungsmessung 4.3. Anforderungen, Aufbau und Messungen 52 • Schließen Sie eine Versorgungsspannung von 28 V an der zweipoligen Schraubklemme an (vgl. Abbildung 4.8). • Verbinden Sie das linke Kabel Nr.1 der Stiftleiste JP1 mit 5 V Logikversorgungsspannung und Kabel Nr.2 mit GND (vgl. Abbildung 4.9). Um versehentliche Überspannungen zu vermeiden, verwenden Sie die 5 V Spannungsreglerplatine. • Verbinden Sie Kabel Nr.5 von JP1 mit eine Funktionsgenerator, der ein positives Rechteck mit 5 V Amplitude und einer Frequenz von einigen Hertz ausgibt. Die Zentrifuge beginnt sich zu drehen und die Drehzahl kann mit der Rechteckfrequenz eingestellt werden. Da es sich bei Schrittmotoren um Synchronmotoren handelt, kann der Motor schnellen Frequenzänderungen durch das Massenträgheitsmoment der Zentrifuge nicht folgen und es kommt zu Schrittverlust (deutlich hörbar). Die Frequenz soll deshalb nur langsam variiert werden. 4.3.2 Messwerterfassung mit MATLAB Zum Einlesen der Sensorwerte stehen zwei MATLAB Skript Files zur Verfügung: 1. Auswertung_Serielle_Schnittstelle_fast.m 2. Auswertung_Serielle_Schnittstelle_live.m Mit dem ersten File können Messungen durchgeführt werden bei denen eine hohe Samplerate nötig ist. Bei Ausführen des Skript Files wird das Kommando “s200t” an den Mikrocontroller gesendet woraufhin dieser 200 mal pro Sekunde einen Messwert aller drei Achsen sendet der im MATLAB- Workspace gespeichert wird. Ist die im Skriptfile spezifizierte Zahl an Messwerten erreicht, wird der Lesevorgang beendet und die Messwerte werden in einem Plot dargestellt. Durch den Button Save Workspace können die Messwerte abgespeichert werden. Mit dem zweiten Skriptfile kann eine Live- Darstellung der Messwerte mit 50 Samples pro Sekunde erfolgen, dazu wird das Kommando “s050t” an den Mikrocontroller gesendet. Nach Ausführen des Skriptfiles öffnet sich ein Plot Fenster in dem die aktuellen Messwerte der drei Achsen fortlaufend grafisch dargestellt werden. Zusätzlich werden die numerischen Werte im Command- Window angezeigt. Zu beachten ist, dass jeweils die Rohwerte des 12 Bit ADC gesendet werden (0-4096). Diese sind noch in Beschleunigungswerte umzurechnen. Verändern Sie das Skriptfile geeignet um die Umrechnung durchzuführen (die Referenzspannung der ADC’s beträgt 3 V). 4 Beschleunigungsmessung 4.3.3 4.4. Unterlagen 53 Durchzuführende Messungen • Regen sie den Querbalken der Zentrifuge zu Schwingungen um die Querachse an und bestimmen sie näherungsweise die Eigenfrequenz dieser Schwingung. • Wiederholen sie die Messung bei verschiedenen Abständen der äußeren Montageplatten von der Drehachse. Erklären Sie die Unterschiede mathematisch. • Messen Sie bei drei verschiedenen Drehzahlen die Zentripetalbeschleunigung und vergleichen Sie die gemessenen Werte mit den rechnerisch ermittelten Werten. Wiederholen Sie die Messung bei verschiedenen Abständen der Montageplatten von der Drehachse. Sind dem Messsignal Schwingungen überlagert, wenn ja warum? Was fällt bei den Beschleunigungssignalen der anderen Achsen auf. • Untersuchen Sie das Verhalten des Sensors außerhalb seines Spezifikationsbereichs von ±5 g, treten Nichtlinearitäten auf? • Montieren Sie den Sensor in 45◦ Winkel und untersuchen Sie ob die Achsen dieselben Werte anzeigen und die geometrische Summe, dem Wert bei Ausrichtung entlang einer Achse entspricht. 4.4 Unterlagen Small, Low Power, 3-Axis ±5 g Accelerometer ADXL325 FEATURES GENERAL DESCRIPTION 3-axis sensing Small, low profile package 4 mm × 4 mm × 1.45 mm LFCSP Low power: 350 μA typical Single-supply operation: 1.8 V to 3.6 V 10,000 g shock survival Excellent temperature stability Bandwidth adjustment with a single capacitor per axis RoHS/WEEE lead-free compliant The ADXL325 is a small, low power, complete 3-axis accelerometer with signal conditioned voltage outputs. The product measures acceleration with a minimum full-scale range of ±5 g. It can measure the static acceleration of gravity in tilt-sensing applications, as well as dynamic acceleration, resulting from motion, shock, or vibration. The user selects the bandwidth of the accelerometer using the CX, CY, and CZ capacitors at the XOUT, YOUT, and ZOUT pins. Bandwidths can be selected to suit the application with a range of 0.5 Hz to 1600 Hz for X and Y axes and a range of 0.5 Hz to 550 Hz for the Z axis. APPLICATIONS The ADXL325 is available in a small, low profile, 4 mm × 4 mm × 1.45 mm, 16-lead, plastic lead frame chip scale package (LFCSP_LQ). Cost-sensitive, low power, motion- and tilt-sensing applications Mobile devices Gaming systems Disk drive protection Image stabilization Sports and health devices FUNCTIONAL BLOCK DIAGRAM +3V VS ADXL325 OUTPUT AMP XOUT CX 3-AXIS SENSOR CDC ~32kΩ AC AMP DEMOD OUTPUT AMP ~32kΩ YOUT CY OUTPUT AMP ~32kΩ ZOUT CZ ST 07946-001 COM Figure 1. Rev. 0 Information furnished by Analog Devices is believed to be accurate and reliable. However, no responsibility is assumed by Analog Devices for its use, nor for any infringements of patents or other rights of third parties that may result from its use. Specifications subject to change without notice. No license is granted by implication or otherwise under any patent or patent rights of Analog Devices. Trademarks and registered trademarks are the property of their respective owners. One Technology Way, P.O. Box 9106, Norwood, MA 02062-9106, U.S.A. Tel: 781.329.4700 www.analog.com Fax: 781.461.3113 ©2009 Analog Devices, Inc. All rights reserved. ADXL325 TABLE OF CONTENTS Features .............................................................................................. 1 Performance ................................................................................ 10 Applications ....................................................................................... 1 Applications Information .............................................................. 11 General Description ......................................................................... 1 Power Supply Decoupling ......................................................... 11 Functional Block Diagram .............................................................. 1 Setting the Bandwidth Using CX, CY, and CZ .......................... 11 Revision History ............................................................................... 2 Self Test ........................................................................................ 11 Specifications..................................................................................... 3 Absolute Maximum Ratings............................................................ 4 Design Trade-Offs for Selecting Filter Characteristics: The Noise/BW Trade-Off .................................................................. 11 ESD Caution .................................................................................. 4 Use with Operating Voltages Other Than 3 V .......................... 11 Pin Configuration and Function Descriptions ............................. 5 Axes of Acceleration Sensitivity ............................................... 12 Typical Performance Characteristics ............................................. 6 Layout and Design Recommendations ................................... 13 Theory of Operation ...................................................................... 10 Outline Dimensions ....................................................................... 14 Mechanical Sensor...................................................................... 10 Ordering Guide .......................................................................... 14 REVISION HISTORY 8/09—Revision 0: Initial Version Rev. 0 | Page 2 of 16 ADXL325 SPECIFICATIONS TA = 25°C, VS = 3 V, CX = CY = CZ = 0.1 μF, acceleration = 0 g, unless otherwise noted. All minimum and maximum specifications are guaranteed. Typical specifications are not guaranteed. Table 1. Parameter SENSOR INPUT Measurement Range Nonlinearity Package Alignment Error Interaxis Alignment Error Cross-Axis Sensitivity 1 SENSITIVITY (RATIOMETRIC) 2 Sensitivity at XOUT, YOUT, ZOUT Sensitivity Change Due to Temperature 3 ZERO g BIAS LEVEL (RATIOMETRIC) 0 g Voltage at XOUT, YOUT, ZOUT 0 g Offset vs. Temperature NOISE PERFORMANCE Noise Density XOUT, YOUT, ZOUT FREQUENCY RESPONSE 4 Bandwidth XOUT, YOUT 5 Bandwidth ZOUT5 RFILT Tolerance Sensor Resonant Frequency SELF TEST 6 Logic Input Low Logic Input High ST Actuation Current Output Change at XOUT Output Change at YOUT Output Change at ZOUT OUTPUT AMPLIFIER Output Swing Low Output Swing High POWER SUPPLY Operating Voltage Range Supply Current Turn-On Time 7 TEMPERATURE Operating Temperature Range Conditions Each axis Min Typ ±5 ±6 ±0.2 ±1 ±0.1 ±1 Each axis VS = 3 V VS = 3 V 156 174 ±0.01 192 mV/g %/°C VS = 3 V 1.3 1.5 ±1 1.7 V mg/°C Percent of full scale No external filter No external filter Self test 0 to 1 Self test 0 to 1 Self test 0 to 1 −90 +90 +90 No load No load Max g % Degrees Degrees % 250 μg/√Hz rms 1600 550 32 ± 15% 5.5 Hz Hz kΩ kHz +0.6 +2.4 +60 −190 +190 +320 V V μA mV mV mV −350 +350 +580 0.1 2.8 1.8 VS = 3 V No external filter 1 V V 3.6 V μA ms +85 °C 350 1 −40 Unit Defined as coupling between any two axes. Sensitivity is essentially ratiometric to VS. 3 Defined as the output change from ambient-to-maximum temperature or ambient-to-minimum temperature. 4 Actual frequency response controlled by user-supplied external filter capacitors (CX, CY, CZ). 5 Bandwidth with external capacitors = 1/(2 × π × 32 kΩ × C). For CX, CY = 0.003 μF, bandwidth = 1.6 kHz. For CZ = 0.01 μF, bandwidth = 500 Hz. For CX, CY, CZ = 10 μF, bandwidth = 0.5 Hz. 6 Self test response changes cubically with VS. 7 Turn-on time is dependent on CX, CY, CZ and is approximately 160 × CX or CY or CZ + 1 ms, where CX, CY, CZ are in μF. 2 Rev. 0 | Page 3 of 16 ADXL325 ABSOLUTE MAXIMUM RATINGS Rating 10,000 g 10,000 g −0.3 V to +3.6 V (COM − 0.3 V) to (VS + 0.3 V) Indefinite Stresses above those listed under Absolute Maximum Ratings may cause permanent damage to the device. This is a stress rating only; functional operation of the device at these or any other conditions above those indicated in the operational section of this specification is not implied. Exposure to absolute maximum rating conditions for extended periods may affect device reliability. −55°C to +125°C −65°C to +150°C ESD CAUTION Table 2. Parameter Acceleration (Any Axis, Unpowered) Acceleration (Any Axis, Powered) VS All Other Pins Output Short-Circuit Duration (Any Pin to Common) Temperature Range (Powered) Temperature Range (Storage) Rev. 0 | Page 4 of 16 ADXL325 ST 2 COM 3 NC 4 NC 15 14 13 ADXL325 TOP VIEW (Not to Scale) 12 XOUT 11 NC 10 YOUT +Y +Z +X 6 7 8 COM COM COM ZOUT 9 5 NC NC = NO CONNECT 07946-003 1 VS 16 NC VS NC PIN CONFIGURATION AND FUNCTION DESCRIPTIONS Figure 2. Pin Configuration Table 3. Pin Function Descriptions Pin No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 EP Mnemonic NC ST COM NC COM COM COM ZOUT NC YOUT NC XOUT NC VS VS NC Exposed pad Description No Connect (or Optionally Ground) Self Test Common No Connect Common Common Common Z Channel Output No Connect (or Optionally Ground) Y Channel Output No Connect X Channel Output No Connect Supply Voltage (1.8 V to 3.6 V) Supply Voltage (1.8 V to 3.6 V) No Connect Not internally connected. Solder for mechanical integrity. Rev. 0 | Page 5 of 16 ADXL325 TYPICAL PERFORMANCE CHARACTERISTICS N > 1000 for all typical performance plots, unless otherwise noted. 50 60 50 POPULATION (%) 30 20 10 40 30 20 10 1.46 1.47 1.48 1.49 1.5 1.51 1.52 1.53 1.54 OUTPUT (V) 0 07946-005 0 –0.22 –0.20 –0.18 –0.16 –0.14 –0.12 VOLTAGE (V) Figure 3. X-Axis Zero g Bias at 25°C, VS = 3 V 07946-008 POPULATION (%) 40 Figure 6. X-Axis Self Test Response at 25°C, VS = 3 V 40 60 50 POPULATION (%) POPULATION (%) 30 20 40 30 20 10 1.46 1.47 1.48 1.49 1.50 1.51 1.52 1.53 1.54 OUTPUT (V) 0 07946-006 VOLTAGE (V) Figure 7. Y-Axis Self Test Response at 25°C, VS = 3 V 60 25 50 20 40 POPULATION (%) 30 15 10 5 30 20 10 1.46 1.47 1.48 1.49 1.50 1.51 1.52 1.53 OUTPUT (V) 1.54 0 07946-007 POPULATION (%) Figure 4. Y-Axis Zero g Bias at 25°C, VS = 3 V 0 0.12 0.13 0.14 0.15 0.16 0.17 0.18 0.19 0.20 0.21 0.22 0.26 0.27 0.28 0.29 0.30 0.31 0.32 0.33 0.34 0.35 0.36 VOLTAGE (V) Figure 5. Z-Axis Zero g Bias at 25°C, VS = 3 V Figure 8. Z-Axis Self Test Response at 25°C, VS = 3 V Rev. 0 | Page 6 of 16 07946-010 0 07946-009 10 ADXL325 50 1.55 45 1.54 40 1.53 35 1.52 30 1.51 20 1.50 1.49 15 1.48 10 1.47 5 1.46 0 –1.4 –1.0 –0.6 –0.2 0.2 0.6 1.0 1.4 TEMPERATURE COEFFICIENT (mg/°C) 1.45 –40 –30 –20 –10 Figure 9. X-Axis Zero g Bias Temperature Coefficient, VS = 3 V 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 TEMPERATURE (°C) 07946-014 OUTPUT (V) 25 07946-011 POPULATION (%) N=8 Figure 12. X-Axis Zero g Bias vs. Temperature, Eight Parts Soldered to PCB 50 1.55 N=8 1.54 1.53 1.52 30 OUTPUT (V) POPULATION (%) 40 20 1.51 1.50 1.49 1.48 10 1.47 –1.4 –1.0 –0.6 –0.2 0.2 0.6 1.0 1.4 TEMPERATURE COEFFICIENT (mg/°C) 1.45 –40 –30 –20 –10 07946-012 0 Figure 10. Y-Axis Zero g Bias Temperature Coefficient, VS = 3 V 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 TEMPERATURE (°C) 07946-015 1.46 Figure 13. Y-Axis Zero g Bias vs. Temperature, Eight Parts Soldered to PCB 40 1.54 N=8 35 1.52 1.50 OUTPUT (V) 25 20 15 1.46 –3.5 –3.0 –2.5 –2.0 –1.5 –1.0 –0.5 0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 TEMPERATURE COEFFICIENT (mg/°C) Figure 11. Z-Axis Zero g Bias Temperature Coefficient, VS = 3 V 1.40 –40 –30 –20 –10 0 10 20 30 40 50 TEMPERATURE (°C) 60 70 80 90 100 07946-016 1.42 5 0 1.48 1.44 10 07946-013 POPULATION (%) 30 Figure 14. Z-Axis Zero g Bias vs. Temperature, Eight Parts Soldered to PCB Rev. 0 | Page 7 of 16 ADXL325 30 N=8 0.187 25 SENSITIVITY (V/g) 15 10 0.177 0.172 0.167 5 0.157 –40 –30 –20 –10 0.164 0.166 0.168 0.170 0.172 0.174 0.176 0.178 0.180 0.182 SENSITIVITY (V/g) 07946-017 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 90 100 TEMPERATURE (°C) Figure 15. X-Axis Sensitivity at 25°C, VS = 3 V Figure 18. X-Axis Sensitivity vs. Temperature, Eight Parts Soldered to PCB, VS = 3 V 40 N=8 35 0.187 30 0.182 SENSITIVITY (V/g) POPULATION (%) 0 07946-020 0.162 07946-021 POPULATION (%) 0.182 20 25 20 15 0.177 0.172 0.167 10 0.162 5 0.164 0.166 0.168 0.170 0.172 0.174 0.176 0.178 0.180 0.182 SENSITIVITY (V/g) 0.157 –40 –30 –20 –10 07946-018 0 0 10 20 30 40 50 60 70 80 TEMPERATURE (°C) Figure 16. Y-Axis Sensitivity at 25°C, VS = 3 V Figure 19. Y-Axis Sensitivity vs. Temperature, Eight Parts Soldered to PCB, VS = 3 V 0.187 35 N=8 30 0.182 SENSITIVITY (V/g) 20 15 0.177 0.172 0.167 10 0 0.164 0.166 0.168 0.170 0.172 0.174 0.176 0.178 0.180 SENSITIVITY (V/g) 0.182 0.157 –40 –30 –20 –10 0 10 20 30 40 50 60 70 80 TEMPERATURE (°C) Figure 17. Z-Axis Sensitivity at 25°C, VS = 3 V Figure 20. Z-Axis Sensitivity vs. Temperature, Eight Parts Soldered to PCB, VS = 3 V Rev. 0 | Page 8 of 16 90 100 07946-022 0.162 5 07946-019 POPULATION (%) 25 ADXL325 600 CH4: ZOUT, 500mV/DIV 500 400 CH2: X OUT, 500mV/DIV 4 300 2 CH1: POWER, 2V/DIV 1 OUTPUTS ARE OFFSET FOR CLARITY 100 0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 SUPPLY (V) Figure 21. Typical Current Consumption vs. Supply Voltage TIME (1ms/DIV) Figure 22. Typical Turn-On Time, VS = 3 V, CX = CY = CZ = 0.0047 μF Rev. 0 | Page 9 of 16 07946-024 3 200 07946-023 CURRENT (µA) CH3: Y OUT, 500mV/DIV ADXL325 THEORY OF OPERATION The ADXL325 is a complete 3-axis acceleration measurement system. The ADXL325 has a measurement range of ±5 g minimum. It contains a polysilicon surface micromachined sensor and signal conditioning circuitry to implement an openloop acceleration measurement architecture. The output signals are analog voltages that are proportional to acceleration. The accelerometer can measure the static acceleration of gravity in tilt-sensing applications, as well as dynamic acceleration, resulting from motion, shock, or vibration. MECHANICAL SENSOR The sensor is a polysilicon surface micromachined structure built on top of a silicon wafer. Polysilicon springs suspend the structure over the surface of the wafer and provide a resistance against acceleration forces. Deflection of the structure is measured using a differential capacitor that consists of independent fixed plates and plates attached to the moving mass. The fixed plates are driven by 180° out-of-phase square waves. Acceleration deflects the moving mass and unbalances the differential capacitor resulting in a sensor output whose amplitude is proportional to acceleration. Phase-sensitive demodulation techniques are then used to determine the magnitude and direction of the acceleration. Rather than using additional temperature compensation circuitry, innovative design techniques ensure that high performance is built-in to the ADXL325. As a result, there is neither quantization error nor nonmonotonic behavior, and temperature hysteresis is very low (typically <3 mg over the −25°C to +70°C temperature range). The ADXL325 uses a single structure for sensing the X, Y, and Z axes. As a result, the three axes sense directions are highly orthogonal with little cross-axis sensitivity. Mechanical misalignment of the sensor die to the package is the chief source of cross-axis sensitivity. Mechanical misalignment can, of course, be calibrated out at the system level. PERFORMANCE The demodulator output is amplified and brought off-chip through a 32 kΩ resistor. The user then sets the signal bandwidth of the device by adding a capacitor. This filtering improves measurement resolution and helps prevent aliasing. Rev. 0 | Page 10 of 16 ADXL325 APPLICATIONS INFORMATION POWER SUPPLY DECOUPLING For most applications, a single 0.1 μF capacitor, CDC, placed close to the ADXL325 supply pins adequately decouples the accelerometer from noise on the power supply. However, in applications where noise is present at the 50 kHz internal clock frequency (or any harmonic thereof), additional care in power supply bypassing is required because this noise can cause errors in acceleration measurement. If additional decoupling is needed, a 100 Ω (or smaller) resistor or ferrite bead can be inserted in the supply line. Additionally, a larger bulk bypass capacitor (1 μF or greater) can be added in parallel to CDC. Ensure that the connection from the ADXL325 ground to the power supply ground is low impedance because noise transmitted through ground has a similar effect as noise transmitted through VS. SETTING THE BANDWIDTH USING CX, CY, AND CZ The ADXL325 has provisions for band limiting the XOUT, YOUT, and ZOUT pins. Capacitors must be added at these pins to implement low-pass filtering for antialiasing and noise reduction. The 3 dB bandwidth equation is f−3 dB = 1/(2π(32 kΩ) × C(X, Y, Z)) DESIGN TRADE-OFFS FOR SELECTING FILTER CHARACTERISTICS: THE NOISE/BW TRADE-OFF The selected accelerometer bandwidth ultimately determines the measurement resolution (smallest detectable acceleration). Filtering can be used to lower the noise floor to improve the resolution of the accelerometer. Resolution is dependent on the analog filter bandwidth at XOUT, YOUT, and ZOUT. The output of the ADXL325 has a typical bandwidth greater than 500 Hz. The user must filter the signal at this point to limit aliasing errors. The analog bandwidth must be no more than half the analog-to-digital sampling frequency to minimize aliasing. The analog bandwidth can be further decreased to reduce noise and improve resolution. The ADXL325 noise has the characteristics of white Gaussian noise, which contributes equally at all frequencies and is described in terms of μg/√Hz (the noise is proportional to the square root of the accelerometer bandwidth). The user should limit bandwidth to the lowest frequency needed by the application to maximize the resolution and dynamic range of the accelerometer. With the single-pole roll-off characteristic, the typical noise of the ADXL325 is determined by rms Noise = Noise Density × ( BW × 1.6 ) or more simply f–3 dB = 5 μF/C(X, Y, Z) The tolerance of the internal resistor (RFILT) typically varies as much as ±15% of its nominal value (32 kΩ), and the bandwidth varies accordingly. A minimum capacitance of 0.0047 μF for CX, CY, and CZ is recommended in all cases. Often, the peak value of the noise is desired. Peak-to-peak noise can only be estimated by statistical methods. Table 5 is useful for estimating the probabilities of exceeding various peak values, given the rms value. Table 5. Estimation of Peak-to-Peak Noise Table 4. Filter Capacitor Selection, CX, CY, and CZ Bandwidth (Hz) 1 10 50 100 200 500 Capacitor (μF) 4.7 0.47 0.10 0.05 0.027 0.01 Peak-to-Peak Value 2 × rms 4 × rms 6 × rms 8 × rms % of Time That Noise Exceeds Nominal Peak-to-Peak Value 32 4.6 0.27 0.006 USE WITH OPERATING VOLTAGES OTHER THAN 3 V SELF TEST The ST pin controls the self test feature. When this pin is set to VS, an electrostatic force is exerted on the accelerometer beam. The resulting movement of the beam allows the user to test whether the accelerometer is functional. The typical change in output is −1.08 g (corresponding to −190 mV) in the X axis, +1.08 g (+190 mV) on the Y axis, and +1.83 g (+320 mV) on the Z axis. This ST pin can be left open circuit or connected to common (COM) in normal use. Never expose the ST pin to voltages greater than VS + 0.3 V. If this cannot be guaranteed due to the system design (for instance, there are multiple supply voltages), then a low VF clamping diode between ST and VS is recommended. The ADXL325 is tested and specified at VS = 3 V; however, it can be powered with VS as low as 1.8 V or as high as 3.6 V. Note that some performance parameters change as the supply voltage is varied. The ADXL325 output is ratiometric; therefore, the output sensitivity (or scale factor) varies proportionally to the supply voltage. At VS = 3.6 V, the output sensitivity is typically 209 mV/g. At VS = 2 V, the output sensitivity is typically 116 mV/g. The zero g bias output is also ratiometric; therefore, the zero g output is nominally equal to VS/2 at all supply voltages. The output noise is not ratiometric but is absolute in volts; therefore, the noise density decreases as the supply voltage increases. This is because the scale factor (mV/g) increases while the noise voltage remains constant. At VS = 3.6 V, the X- and Y-axis noise density is typically 200 μg/√Hz, while at VS = 2 V, the X- and Y-axis noise density is typically 300 μg/√Hz. Rev. 0 | Page 11 of 16 4 Beschleunigungsmessung 4.4. Unterlagen Abbildung 4.3: Zentrifuge 65 4 Beschleunigungsmessung 4.4. Unterlagen 66 Abbildung 4.4: Layout Platine Beschleunigungslogger Toplayer: rot, Bottomlayer: blau 4 Beschleunigungsmessung Abbildung 4.5: Formatierung einer Sendung Abbildung 4.6: Anschluss des Sensors 4.4. Unterlagen 67 4 Beschleunigungsmessung 4.4. Unterlagen Abbildung 4.7: Schrittmotorsteuerung Abbildung 4.8: Anschluss Versorgungsspannung und Schrittmotor 68 4 Beschleunigungsmessung Abbildung 4.9: Anschluss Logikteil 4.4. Unterlagen 69 5 Resonante Sensoren Betreut von Martin Heinisch Aufgebaut von Martin Lippl 5.1 Vorwort Die wichtigsten Vertreter resonanter Sensoren sind: akustische Sensoren, Ultraschallsensoren und mikromechanisch resonante Sensoren, wobei sich dieses Praktikum auf die zuletzt genannten beschränken soll. Diese Laborübung der resonanten Sensoren und Messprinzipien erhebt keinerlei Anspruch darauf einen vollständigen Überblick von mikromechanisch resonanten Sensoren zu bieten, es behandelt vielmehr die Grundlagen eben dieser. Ihre Gemeinsamkeit ist das Sensorprinzip, die zu messende Größe beeinflusst die Ausbreitung einer mechanischen oder akustischen Welle im Sensor bzw. im zu untersuchenden Medium, diese Änderungen spiegeln sich in einer Verschiebung der Resonanzfrequenz wieder. Ihre Anwendungen liegen in der Bestimmung physikalischer, sowie chemischer Größen. Da es sich um mikromechanische Probleme handelt, ist deren Funktionsprinzip nur sehr schwer ersichtlich, daher diese drei Aufbauten der wichtigsten mechanischen Resonatoren, dem Torsionsschwinger, dem Balkenschwinger und der Saite. Ziel dieser Übung ist die mechanischen Grundlagen der Resonatoren zu begreifen, die verschiedenen Schwingungen einzusehen und die allgemein wichtigsten Faktoren dieser zu erfassen. Die so erlangten Kenntnisse können und sollen im Anschluss auf die mikromechanisch resonanten Sensoren umgelegt werden. 5.2 5.2.1 Einführung Elastizität Elastizität ist die grundlegende Eigenschaft eines Körpers, der unter äußerer Krafteinwirkung seine Form verändert, bei Wegfall der selbigen, seine ursprüngliche Gestalt wieder annimmt. Die Verformung hängt von der Art der einwirkenden Kraft ab und zieht eine Dehnung, Biegung, Torsion oder Knickung nach sich. Im allgemeinensten Fall können diese Formänderungen selbstverständlich auch gleichzeitig auftreten, diese möglichen Gestaltänderungen werden im Folgenden erläutert. 70 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 71 Dehnung Auf einen Stab mit konstantem Querschnitt A und der Länge l wirke entlang der Längsachse eine Zugkraft Fz , siehe Abbildung 5.1. Die spezifische Längenänderung nach HOOKE 1 , hervorgerufen durch die äußere Krafteinwirkung, ist gegeben mit ε = ∆l/l, wobei l hier wiederum die Ausgangslänge und ∆l die Verlängerung aufgrund der Deformation darstellt. Die Spannung für diesen Fall ergibt sich zu σ = Fz /A , ε kann nun auch über die Spannung definiert werden ε = σ/E wobei E hier den Elastizitätsmodul darstellt, dieser kann aus Tabellen für das entsprechende Material abgelesen oder durch Messungen gefunden werden. Damit ist die Längenänderung eines Stabes bei Dehnung ∆l Fz = . l E ·A (5.1) b b - ∆b Gleichzeitig zur Längenänderung des Stabes tritt noch eine Verjüngung des Querschnittes auf, so sei b die Breite des Stabes, dann folgt die Verjüngung zu ∆b/b = −ν · ∆l/l. Ist die Dehnung nicht mehr proportional zur Spannung und wird die einwirkende Kraft weiter erhöht, so geht der Stab nach Entlastung nicht mehr in seine ursprüngliche Form zurück, die Elastizitätsgrenze wurde überschritten. Fz A l l + ∆l Abbildung 5.1: Dehnung an Stab mit konst. Querschnitt 1 * 18/28.Juli 1635 in Freshwater, Isle of Wight ; † 14.März 1703 in London. 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 72 Biegung Die Durchbiegung w eines Stabes mit der Länge l und dem konstanten Querschnitt A, der einseitig fixiert durch ein Festlager an seinem freien Ende durch die Kraft Fb normal zur Stabachse belastet wird (siehe Abbildung 5.2), kann durch die Balkentheorie nach Euler-Bernoulli gefunden werden. Es ist für das weitere Vorgehen von Vorteil die x-Achse in Richtung der unverformten Balkenachse, die z-Achse dazu senkrecht nach unten und die y-Achse aus der Bildebene heraus, laut dem positiv orientierten Dreibein, zu legen. Die Durchbiegung w entspricht hier einer Verschiebung in der postiven z Richtung. Durch ein Freischneiden des Querschnittes erkennt man die Biegespannungen die senkrecht zur Schnittfläche gerichtet sind. Bei dem in Abbildung 5.2 gezeigten Biegefall kommt es zu einer Dehnung der oberen Randfasern, im Gegensatz zu einer Stauchung der unteren, dazwischen liegt die sogenannte Nullfaser, die keine der beiden Beanspruchungen erfährt, hier sind Dehnung und Spannung demnach gleich Null. Eine wichtige Annahme zur weiteren Vorgehensweise ist, dass Punkte die im unverfomten Zustand normal auf die x-Achse, auch nach Eintreten der Deformation, zu jedem Zeitpunkt normal darauf liegen. l w A Fb Abbildung 5.2: Biegung eines Stabes mit konst. Querschnitt Abbildung 5.3 zeigt die auftretende Verformung des Balkens, es ist weiters die Krümmung bzw. Dehnung am Balken ersichtlich. Die spezifische Längenänderung des Balkenstücks im angegebenem Fall der Biegung lässt sich nun wie folgt herleiten. 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung ds = r dϕ dS = (r + z) dϕ dS − ds = z dϕ dS − ds dϕ z ε= = z· = ds ds r 73 (5.2) dS ds z r dφ Abbildung 5.3: Krümmung und Dehnung am Balken Mit dem Hookeschen Gesetz σ = E · ε gilt nun σ = E · z/r, die Interpretation dieser Formel lässt Aussagen über die Spannungsverteilung zu, die Biegespannungen sind linear über den Querschnitt verteilt und hängen nur von der Koordinate x ab, es handelt sich damit um ein ebenes Problem. Unter der Voraussetzung einer reinen Biegung muss die Kraft auf den Querschnitt FN = 0 sein, das führt auf Z Z E z dA = 0. (5.3) σ dx = 0 → r A A Das Verschwinden des Flächenintegrals für eine Achse durch den Schwerpunkt des Balkenquerschnittes zeigt, dass die neutrale Faser durch die Schwerpunkte aller Querschnitte läuft. Die Spannungsverteilung bei der hier beschriebenen Biegung erzeugt also ein Biegemoment in der xz-Ebene, ein Moment auf den Querschnitt um die y-Achse, das Moment um die z-Achse muss Null sein. Z Z E My = σ · z dA = z 2 dA (5.4) ρ A A 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 74 Der Ausdruck, der sich rechts vom Integral befindet, wird nun allgemein als FlächenmoR ment zweiter Ordnung bezeichnet, in diesem Fall bezogen auf die y-Achse, Iy = z 2 dA, A es hängt damit lediglich von der Geometrie des Querschnittes ab. Mit dieser Definition folgt nun E M = . r Iy (5.5) Um mit dem gefundenen Ausdruck für die spezifischen Längenänderung eines Balkenteilstückes nun auf die Biegelinie des Selbigen zu kommen, bedarf es der Betrachtung des Krümmungskreises, Abbildung 5.4 , dieser kann nun formelmäßig wie folgt beschrieben werden. (x − x0 )2 + (w − w0 )2 = r2 (5.6) x w r z Abbildung 5.4: Krümmungskreis Das zweimalige Ableiten dieser Gleichung bezüglich x sowie das Eliminieren von x0 und w0 x − x0 + (w − w0 ) · w0 = 0 1 + w02 + (w − w0 ) · w00 = 0 (5.7) führt zur Differentialgleichung der elastischen Linie. (1 + w02 )3 1 ≈ w002 w00 1 M w00 = = − r E · Iy r2 = (5.8) Über die Beziehungen der Statik, dass die Kraft F abgeleitet nach x der Streckenlast q, sowie das Moment M abgeleitet nach der selben Variable der Kraft F entspricht, lassen sich die Ausdrücke für die höheren Ableitungen von w, im Folgenden benötigt 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 75 zum Aufstellen und Lösen der Differentialgleichung, finden. F 0 = −q M0 = F M E · Iy F w000 = − E · Iy q 0000 w =− E · Iy w00 = − (5.9) Unter der allgemeinen Annahme einer konstanten Streckenlast q = q0 = const erfolgt die Integration der Differentialgleichungen über die gesamte Länge l des Balkens. Gegenstand des vorliegenden Abschnittes ist die allgemeine Rechnung und Herleitung der Biegeliene, im Zuge dieses Praktikums wird die Streckenlast, hervorgerufen durch das Eigengewicht des Balkens, jedoch vernachlässigt. E · Iy · w0000 = q = q0 E · Iy · w000 = −Q = q0 · x + C1 x2 + C1 · x + C2 E · Iy · w00 = −M = q0 · 2 x3 x2 E · Iy · w0 = q0 · + C1 · + C2 · x + C3 6 2 x4 x3 x2 E · Iy · w = q0 · + C1 · + C2 · + C3 · x + C4 24 6 2 (5.10) Die Variablen C1 bis C4 stellen hier die Integrationskonstanten dar und sind für die verschiedenen Problemstellungen durch die jeweiligen Randbedingungen gegeben. Es ist von Vorteil sich immer die beiden Enden des Balkens anzusehen, da hier durch etwaige Einspannungen oder Angriffspunkte von Kräften diese Bedingungen von der Absenkung w, der Neigung w0 , dem Moment M sowie der Querkraft Q leicht ersichtlich sind. Für den für das Praktikum relevanten Fall des einseitig eingespannten und einseitig belasteten Balkens (siehe Abbildung 5.2) lassen sich diese Bedingungen wie folgt aufstellen (unter der Voraussetzung, dass das Eigengewicht des Balkens bzw. die damit verbundene Streckenlast vernachlässigt wird). w(0) = 0 ⇒ C4 = 0 w0 (0) = 0 ⇒ C3 = 0 M (l) = −F · l ⇒ C2 = F · l Q(l) = −F ⇒ C1 = F (5.11) Damit lässt sich durch Einsetzen der Integrationskonstanten der Biegepfeil, die maxi- 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung male Durchbiegung, welche bei der Länge l auftritt, berechnen. F w(x) = · (3 · l · x2 − x3 ) E · Iy 1 F · l3 w(l) = · 3 E · Iy 76 (5.12) Torsion Betrachtet man einen Stab der Länge l von rundem Querschnitt mit konstantem Radius R, verdreht die beiden Enden gegeneinander um den Winkel Φ, so bringt der Stab ein rücktreibendes Moment MT auf. Wird dieses Moment auf den Drehwinkel Φ bezogen so spricht man von dem Direktionsmoment MD . MT 2xR l Φ Abbildung 5.5: Torsion eines Stabes mit konst. Radius R Um das Moment MT zu berechnen sehen wir uns zuerst die Scherung in einem homogenen Material an, hier entspricht G dem Schubmodul des Stabes. τ = G · γr (5.13) 2 Der Schubmodul ist eine Materialkonstante und kann aus der Poisson Zahl sowie dem Elastizitätsmodul errechnet werden E G= (5.14) 2 · (1 + υ) 2 * Siméon Denis Poisson, 21.Juni 1781 in Pithiviers (Département Loiret) ; † 25. April 1840 in Paris. 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 77 · dφ , so kann das TorsionsmoWird nun die Winkeländerung ausgedrückt durch φ , γr = r dx R ment als MT = A r · τr dA angeschrieben werden unter Verwendung des Schubmodules Z dφ (5.15) MT = G r2 dA . dx A R Hier stellt der Ausdruck, äquivalent zu Gleichung 5.4, Ip = A r2 dA das polare Flächenmoment zweiten Grades dar, dieses kann für verschiedene Querschnitte in Tabellen nachgeschlagen oder durch Lösen des Integrals berechnet werden und entspricht für einen Stab runden Querschnittes Z R4 · π . (5.16) Ip = r2 dA = 2 A Wird nun nach Einsetzen von Ip das vollständige Integral aus Gleichung 5.15 gelöst, erhält man das Direktionsmoment MD = G · R4 · π . 2·l (5.17) In weiterer Folge ist vor allem der Torsionsschwinger von Interesse. Wird ein Stabende wiederum durch ein Festlager fixiert und am anderen Endeqeine Masse befestigt, so kann diese Drehschwingungen mit der Schwingungsdauer T1 = MJ1D · 2 · π ausführen. Hierbei stellt J1 das Trägheitsmoment der befestigten Masse dar, welches im nächsten Punkt ausführlich erklärt wird. Wird nun der Masse eine weitere mit derqMassenträgheit J2 2 · 2 · π. hinzugefügt, so berechnet sich die neue Schwingungsdauer zu T2 = J1M+J D 5.2.2 Trägheitsmoment Massenträgheitsmoment Betrachten wir einen Massepunkt µu eines starren Körpers, der um eine körperfeste Achse rotiert, so bewegt sich dieser Massepunkt auf einer Kreisbahn mit der Winkelgeschwindigkeit ω, die nun für alle Massepunkte des Körpers gleich ist. Die Lage des Körpers gibt man durch den Winkel ϕ an, analog zur Translation ergibt sich nunmehr die Winkelgeschwindigkeit sowie die Winkelbeschleunigung zu dϕ = ϕ̇ dt d2 ϕ ω̇ = 2 = ϕ̈. dt ω= (5.18) 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 78 F 0 r µu Ft φ Abbildung 5.6: Betrachtung eines Massepunktes bei Rotation Ziehen wir das zweite Newtonschen Axiom3 F = m · a heran, wird also das Massestück mit der darauf einwirkenden Tangentialbeschleunigung multipliziert, ergibt sich die Tangentialkomponente der gesamten auf das Masseteilchen wirkende Kraft F . Der Abstand des Massepunktes zur Drehachse sei gegeben mit r. FT = µu · r · ϕ̈ (5.19) FT · r ist nun das auf die Drehachse bezogene Drehmoment der Kraft F für ein Masseteil. Um daraus einen Ausdruck für das Gesamtdrehmoment M zu entwickeln, wird die Summe aller Momente der einzelnen Massepunkte gebildet. X X X M= FT · r = µu · r · ϕ̈ = ϕ̈ · µu · r (5.20) P In dieser Formel wird der Ausdruck µu · r als das Massenträgheitsmoment J eines Körpers im Bezug auf seine Drehachse definiert, die Gleichung ergibt sich nun in ihrer endgültigen Form zu M = J · ϕ̈ (5.21) Flächenmoment Bei den obigen Beispielen der Biegung sowie der Torsion, haben wir jeweils einen R Aus2 druck für das Flächenmoment R 2zweiter Ordnung hergeleitet, das axiale mit Iy = A z dA sowie das polare mit Ip = A r dA . Das polare Moment lässt sich allerdings zerlegen in Z Z Z Z 2 2 2 2 Ip = r dA = (x + y ) dA = x dA + y 2 dA = Ix + Iy , (5.22) A 3 A A A In dieser Form das erste Mal 1750 formuliert durch Leonhard Euler. 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 79 also in ein axiales Flächenmoment bezüglich der y- sowie der x-Achse. Grundsätzlich gilt für das axiale, sowie das polare Flächenmoment: Die bei Deformation in einem Querschnitt entstehenden Spannungen sind umso kleiner, je größer das Flächenmoment ist. Dieses ist laut Definition immer positiv. Iy wird zur Berechnung im Falle einer Biegung herangezogen, Ip ist das Pendant für die Deformation im Falle der Torsion. Flächenmomente sind immer positiv anzusehen, die Einheit entspricht die der Laenge4 also m4 . 5.2.3 Schwingungen Der Balkenschwinger Der Balkenschwinger besteht im hier betrachteten Fall aus einem einseitig eingespannten Balken, an dessen freien Ende eine moderate Kraft, die nur kleine Deformationen im elastischen Bereich verursacht, die höchstbelasteten Fasern nicht platifiziert, einwirkt. Im allgemeinsten Fall kann dieser Balkenschwinger durchaus auch andere Formen der Einspannung sowie Krafteinwirkung erfahren, dies würde wiederum lediglich Änderungen in den Anfangsbedingungen bzw. Integrationskonstanten nach sich ziehen. Wir betrachten nun abermals einen Stab der Länge l, von konstantem Querschnitt A unter Einwirkung der Querkraft normal zur Stabachse Fb . Als Ausgangspunkt zum Herleiten der Differentialgleichung des Balkenschwingers dient die unter dem Kapitel der Biegung hergeleitete Biegelinie, wir wissen dass diese aus Gleichung 5.9 hervorgeht. Bei den Balkenschwingungen hängt nun die Funktion der Biegelinie nicht nur von der aktuellen Position am Balken x, sondern auch der von der Zeit t ab, es tritt also die Funktion der Art w(x, t) an die Stelle der Funktion w(x), diese können wiederum als Funktionen abgeleitet nach der Zeit oder des Ortes vorkommen. Weiters ersetzt die Streckenlast q(x) der Trägheitsterm −ρAω̈(x, t). Die Bewegungsgleichung ergibt sich damit zu ρ · A · ω̈(x, t) + E · Iy · w0000 (x, t) = 0, (5.23) was einer partiellen Differentialgleichung in zwei Variablen x,t entspricht. Zur Bestimmung der freien Schwingung, zur Lösung der Differentialgleichung, wird nun ein Ansatz benötigt. w(x, t) = W (x) · cos(ωt) ẅ(x, t) = −ω 2 · W (x) · cos(ωt) w0000 (x, t) = W 0000 (x) · cos(ωt) (5.24) Dieser führt durch Einsetzen in die Bewegungsgleichung, die Zeitfunktion wurde hier abgespaltet, zu − ω 2 · ρ · A · W (x) + E · Iy · W 0000 (x) = 0 (5.25) Damit liegt nun eine gewöhnliche Differentialgleichung vierter Ordnung in der unbekannten Funktion W (x) vor, die den noch zu bestimmenden Parameter ω 2 enthält. Zur 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 80 weiteren Vereinfachung spalten wir die konstanten Faktoren der Differentialgleichung durch Einführen einer neuen Variable β ab. W 0000 (x) − 4 β4 4 2 ρ·A·l W (x) = 0 mit β = ω · l2 E · Iy (5.26) Die allgemeine Lösung der Differentialgleichung lautet nun β β β β W (x) = C1 · sin( · x) + C2 · cos( · x) + C3 · sinh( · x) + C4 · cosh( · x). l l l l (5.27) Für die Bestimmung der Integrationskonstanten ist es äquivalent zu Gleichung 5.11 nötig die Anfangsbedingungen aufzustellen. W (0) = 0 → C2 + C4 = 0 W 0 (0) = 0 → C1 + C3 = 0 (5.28) Damit lässt sich Gleichung 5.27 vereinfachen zu β β β β W (x) = C1 · (sin( · x) − sinh( · x)) + C2 · (cos( · x) − cosh( · x)) l l l l (5.29) Da das Ziel dieses Abschnittes die Bestimmng der Resonanzfrequenz des Balkens, die Bestimmung der Resonanzfrequenz der freien Schwingung ist, kann für das Aufstellen der Randbedingungen die Querkraft vernachlässigt werden. Dies führt auf β2 β2 M (l) = W (l) = 0 → W (l) = C1 · 2 · (sin(β) + sinh(β)) + C2 · 2 (cos(β) + cosh(β)) l l 3 β3 β Q(l) = W 000 (l) = 0 → W 000 (l) = C1 · 3 · (cos(β) + cosh(β)) + C2 · 3 (− sin(β) + sinh(β)). l l (5.30) 00 00 Diese beiden Gleichungen stellen nun ein Gleichungssystem für C1 und C2 dar, dieses angeschrieben in Matrizenform lautet sin(β) + sinh(β) cos(β) + cosh(β) C1 · = 0. (5.31) cos(β) + cosh(β) − sin(β) + sinh(β) C2 Für dieses Gleichungssystem gibt es genau dann eine nichttriviale Lösung, wenn gilt sin(β) + sinh(β) cos(β) + cosh(β) det = 0. cos(β) + cosh(β) − sin(β) + sinh(β) Die Berechnung der Determinante führt auf die Eigenwertgleichung für β des einseitig eingespannten Kontinuumschwingers. 1 + cos(β) · cosh(β) = 0 (5.32) 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 81 Aus dieser Gleichung geht hervor, dass eine unendliche Anzahl an Eigenwerten für dieses Problem existiert, durch Heranziehen des ersten Eigenwertes β1 = 1, 875 erhalten wir über die Definition von β die Frequenz der ersten Eigenschwingung, die Resonanzfrequenz des Balkens. s 2 E · Iy β fr = (5.33) · 2 2·π·l ρ·A Betrachten wir nun den Fall, dass wir an das freie Balkenende eine punktförmig angenommene Masse anbringen, so kann Dank des Superpositionsprinzipes davon ausgegangen werden, dass die Lösungen überlagert werden. Für diesen Fall ändern sich jedoch die Randbedingungen der Differentialgleichung. Um den so entstehenden Ausdruck zu Vereinfachen muss die eben gefundene Gleichung etwas abgeändert werden, es muss der Begriff der Masse eingebracht werden, mB = ρ · A · l. r E · Iy β2 · (5.34) fr = 2·π l 3 · mB Durch das Aufbringen einer Masse auf den Balken verstimmt sich die Resonanzfrequenz, diese kann jetzt durch die unten gegebene Gleichung berechnet werden, s 1 3 · E · Iy fr = · (5.35) 3 2·π l · (0, 24 · mB + m) Die Saite Zuerst ist der Ausdruck der Saite zu definieren, man versteht darunter einen elastischen Stab dessen Querschnitt A zur Länge l des selbigen verhältnismäßig klein ist, sodass einer Biegung praktisch keine Momente entgegenwirken. Wird diese Saite jedoch an beiden Enden eingespannt, so wirkt der Deformation sehr wohl die in Längsrichtung wirkende Zugkraft entgegen. Es lässt sich daher, wie im Folgenden, die Bewegung einer Saite, die aus ihrer Ruhelage ausgelenkt und sich selbst überlassen wird, beschreiben. 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 82 ξ Fz (x) α Fξ F (x + dx) sin(α + dα) α+d ξ = Α0 α Fz (x) sin(α) Fz (x + dx) x=l x Abbildung 5.7: Auslenkung einer Saite mit Länge l Wir betrachten, wie in Abbildung 5.7 dargestellt, ein Saitenelement der Länge dx. Stellen wir nun das Kräftegleichgewicht in y-Richtung auf, so ergibt sich die rücktreibende Kraft Fξ zu Fξ = Fz (x + dx) · sin(α + dα) − Fz (x) · sin(α). (5.36) Um den Ausdruck zu vereinfachen darf sin(α) durch dξ/dx und Fz (x + dx) durch Fz ersetzt werden. dξ ∂ 2ξ dξ · dx (5.37) Fξ = Fz · (( )x+dx − ( )x ) = Fz · dx dx ∂x Wird beim Aufstellen des Kräftegleichgewichts zur Vereinfachung von etwaigen Störeinflüssen wie der Reibung abgesehen, so kann die rücktreibende Kraft der Trägheitskraft ∂2ξ gleichgesetzt werden. ∂t2 ∂ 2ξ ∂ 2ξ Fz · · dx = 2 (5.38) ∂x ∂t Durch den eingeführten Ausdruck für das Gewicht pro Längeneinheit µ = dm kann die dx gefundene Differentialgleichung weiter vereinfacht werden. Fz · ∂ 2ξ ∂ 2 ξ dm ∂ 2ξ = · = µ · ∂x2 ∂t2 dx ∂t2 2 ∂ ξ µ ∂ 2ξ = · ∂x2 Fz ∂t2 (5.39) Um nun eine Lösung für das Problem der transversal schwingenden Saite aus der gewonnen partiellen Differentialgleichung abzuleiten ist es notwendig gewisse Anfangs- bzw. Randbedingungen zu definieren, hier bieten sich die Bedingungen für die beiden Enden 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 83 der Saite x = 0 sowie x = l an, da hier leicht ersichtlich, durch das Verwenden von Festlagern, zu jedem Zeitpunkt der Ausschlag Null sein muss. Für den Ausschlag lassen sich somit die beiden Bedingungen ξ(0, t) = 0 sowie ξ(l, t) = 0 formulieren. Zum Lösen der Differentialgleichung wird nun der Ansatz ξ(x, t) = ψ(x) · e jωt angewandt, die zweite Ableitung nach der Zeit ergibt sich zu ξ(x, t) = ψ(x) · ω · e jωt . Einsetzen führt auf ∂ 2 ψ(x) jωt µ · − ψ(x) · ω 2 · e jωt . (5.40) ·e = 2 ∂x Fz q 2 Kürzen und Einführen des Faktors k = µω zur Vereinfachung ergibt die DifferentialFz gleichung für stehende Wellen ∂ 2 ψ(x) + k · ψ(x) = 0. ∂x2 (5.41) Eine Lösung dieser Differentialgleichung, welche sich durch bloßes Einsetzen schnell überprüfen lässt, lautet ψk = A0 · sin kx. Damit ergibt sich im Rückschluss für die Lösung der zeitabhängigen Bewegungsgleichung ξ(x, t) = A0 · sin(k x) · e jωt . (5.42) Damit diese Funktion jedoch auch eine Lösung für das aufgestellte Problem der Saitenschwingung darstellt, muss sie den definierten Anfangs- bzw. Randbedingungen genügen (zwingend beiden). Diese Bedingungen ξ(0, t) = 0 und ξ(l, t) = 0 liefern uns jetzt die Bedingung für den Faktor k. An der Stelle x = 0 ist keine Definition des Faktors notwendig, da hier durch die Sinusfunktion, sin(0) = 0, die Anfangsbedingung bereits erfüllt ist. Für den Fall x = l lässt sich die Bedingung kn · l = n · π (5.43) aufstellen, denn auch hier muss sin(k · l) = 0 gelten, das stellt sich für alle ganzzahligen Vielfachen von π ein. Nun werden die Werte von kn die Eigenwerte der Differentialgleichung für stehende Wellen genannt. Die Eigenfrequenzen lassen sich einfach durch q µ · ω2 finden, mit ω = 2 · π · f . Umformen und Einsetzen der Gleichung k = Fz fn = kn · 2·π s Fz n = · µ 2·l s Fz µ (5.44) Durch Einsetzen der niedrigsten ganzzahligen ergibt sich die Grundfrequenz (Eigenfrequenz), mit der die Saite schwingen kann. s s 1 Fz 1 Fz f1 = · = · (5.45) 2·l µ 2·l ρ·A Durch Einsetzen höherer Zahlen ergeben sich die Vielfachen dieser Grundfrequenz, die Frequenzen der sogenannten Oberschwingungen. Bei der Grundschwingung ergeben sich 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 84 die einzigen beiden Stellen längs der Saite, wo die Auslenkung gleich Null ist, laut den Anfangs bzw. Grundbedingungen bei x = 0 sowie x = l. Setzen wir jedoch zur Veranschaulichung n = 2 ergibt sich eine weitere Stelle, ein weiterer Knoten bei x = l/2, allgemein lässt sich also formulieren: Es ergeben sich immer n + 1 Knoten. Diese so aufgestellte Gleichung für die Eigenfrequenz ist jene für eine freie, ungedämpfte Grundschwingung der Saite. Diese kann aber auch durch eine Störfrequenz fs von außen angeregt werden, das kann z.B. durch ein periodisch veränderliches Magnetfeld erfolgen, dieses Magnetfeld wird also mit fs zu Transversalschwingungen angeregt. Mit maximaler Amplitude erfolgen die Schwingungen nun wenn fs = f1 , dieser Fall wird als Resonanzfall bezeichnet. Der Torsionsschwinger Der Torsionsschwinger besteht im Allgemeinen aus einem einseitig eingespannten Stab, an dessen gegenüberliegendem Ende ein Gewicht der Masse m befestigt ist. Als weitere Ausführung ist ein beidseitig eingespannter Stab denkbar, hier wird die Masse in der Mitte des Stabes befestigt, die weiterführenden Gleichungen seien zuerst für den ersten Fall ausgeführt. Die Masse werde nun aus ihrer Ruhelage ausgelenkt und führt in weiterer Folge eine gedämpfte Schwingung mit der Eigenfrequenz ω0 und der Dämpfungskonstante d durch. Die Eigenfrequenz hängt hier maßgebend von dem Massenträgheitsmoment der Masse und dem verwendeten Werkstoff bzw. Querschnitt des Stabes ab. Wie im vorangehenden Punkt kurz angesprochen, führt das System angeregt durch eine Störfrequenz fs eine erzwungene Schwingung mit eben dieser Frequenz fs aus. Kommt diese Störfrequenz in die Nähe der Eigenfrequenz des Torsionsschwingers, so wird die Amplitude maximal und man spricht von Resonanz. Der grafische Zusammenhang zwischen Amplitude und Störfrequenz wird Resonanzkurve genannt, hieraus kann einfach der Gütefaktor Q ermittelt werden, genauer beschrieben im nachfolgenden Punkt. Wie bereits unter dem Punkt des Massenträgheitsmoment hergeleitet, ergibt sich das Moment einer Drehbewegung zu M = J · ϕ̈, in dieser Gleichung setzt sich das Moment M einerseits aus dem rücktreibenden Moment des Stabes gegen die Torsion MT = −MD · ϕ mit MD = R4 · π · G, 2·l (5.46) sowie dem der Winkelgeschwindigkeit proportionalen Bremsmoment MC = −c · ϕ̇, (5.47) wobei hier c die Reibungskonstante darstellt, zusammen. Gedämpfte Eigenschwingung Es ergibt sich die Differentialgleichung der gedämpften Eigenschwingung zu J · ϕ̈ + c · ϕ̇ + MD · ϕ = 0, (5.48) 5 Resonante Sensoren 85 5.2. Einführung welche nun mit einem Exponentialansatz ϕ = eλt gelöst wird. Das Einsetzen in die Differentialgleichung führt zu der Lösung der charakteristischen Gleichung r c c2 MD λ1,2 = − ± . (5.49) − 2 2·J 4·J J Für das weitere Vorgehen wird die Dämpfungskonstante δ = 2 ·c J definiert, hiermit ergibt sich die Gleichung in vereinfachter Form zu r MD = −δ ± ω0 . (5.50) λ1,2 = −δ ± δ 2 − J Zur Lösung dieser Gleichung sollen nun drei verschiedene Fälle diskutiert werden. • Fall δ > MD J Die Schwingung ist hier stark gedämpft, die Wurzel ist reell und die Lösung der Differentialgleichung daher ϕ(t) = e−αt · (A1 · eω0 t + A2 · e−ω0 t ). (5.51) Wird der Torsionsschwinger hier aus der Ruhelage gebracht, so geht die Amplitude exponentiell gegen Null, die Bewegung verläuft aperiodisch. • Fall δ = MD J Die Schwingung führt den aperiodischen Grenzfall aus, dies führt zu einem ähnlichen Verhalten wie unter dem vorangehenden Punkt. ϕ(t) = e−αt · (A + B · t) • Fall δ < (5.52) MD J In diesem Fall wird die Wurzel imaginär und die Lösung ergibt sich zu ϕ(t) = e−αt · (B1 · cos ω0 t + B2 sin ω0 t), q mit der Eigenfrequenz, ω0 = MJD − δ 2 . (5.53) Erzwungene Schwingung Bei der erzwungenen Schwingung kommt nun zu den bereits erwähnten und definierten Momenten noch ein störendes Moment Mex hinzu, die homogene Differentialgleichung aus dem vorangehenden Punkt wird nun inhomogen und lautet wie folgt, J · ϕ̈ + c · ϕ̇ + MD · ϕ = Mex (5.54) 5 Resonante Sensoren 5.2. Einführung 86 Die allgemeine Lösung der Differentialgleichung setzt sich aus der allgemeinen Lösung der homogenen Gleichung und einer speziellen Lösung der inhomogenen Gleichung zusammen. Gehen wir davon aus, dass die Anregung des Torsionsschwingers durch ein Magnetfeld erfolgt, so ist Mex = M0 · sin(ω t). Für die Auswahl eines Lösungsansatzes ist es leichter die Störung in komplexer Form anzugeben. Mex = M00 · ejωt (5.55) Es lässt sich also der Ansatz ϕ = K · ejωt finden, und durch Ableiten und Einsetzen ergibt sich (5.56) K · (−J · ω 2 + j · ω · c + MD ) = M00 . Daraus folgt durch Umformen K= M00 M00 · (−J · ω 2 + MD ) − j · ω · c = . (−J · ω 2 + MD ) + j · ω · c (−J · ω 2 + MD )2 + ω 2 · c2 (5.57) Vergleichen wir diese Lösung für K mit der Form K = M00 · Z · e(−jα) so ist 1 , Z=p (−J · ω 2 + MD )2 + ω 2 · c2 (5.58) mit c·ω (−J · ω 2 + MD )2 Es folgt daraus die partikuläre Lösung der Differentialgleichung, tan(α) = ϕ= p M00 (−J · ω 2 + MD )2 + ω 2 · c2 · ej(ωt−α) (5.59) (5.60) Um nun wieder eine Dämpfungskonstante δ = 2 ·c J einführen zu können muss die Gleichung noch auf die untenstehende Form gebracht werden M00 ϕ= J· q ((−ω 2 + MD 2 ) J + ω2 · ) · ej (ωt − α) (5.61) c2 J2 Ziehen wir nun die allgemiene Lösung der homogenen Gleichung hinzu erhalten wir die allgemeine Lösung der Differentialgleichung ϕ = A(ω) · sin(ω · t − α) + C · e(−δt) · cos(ω0 t − β), (5.62) mit A(ω) = tan(δ) = M00 q J · ((−ω 2 + 2·δ·ω . − ω2 MD J MD 2 ) J + 4 · δ2 · ω2) (5.63) 5 Resonante Sensoren 5.3. Aufgabenstellung 87 Der zweite Summand in dieser Gleichung, die allgemeine Lösung der homogenen Differentialgleichung, ist wie im vorangehenden Punkt wieder die gedämpfte Eigenschwingung, der erste Summand, die partikuläre Lösung der inhomogenen Differentialgleichung hingegen, stellt eine erzwungene harmonische Schwingung mit der vom zweiten Summanden unterschiedlichen Kreisfrequenz ω da. Es handelt sich damit um eine Überlagerung zweier Schwingungen, der Eigenschwingung mit ω0 und der erzwungenen Schwingung mit ω, diese Bewegung wird als Schwebung mit der Schwebungsfrequenz Ω = |ω − ω0 | bezeichnet. Nach dem Abklingen der Eigenschwingung, bleibt nur noch die erzwungene bestehen, die Periode der Schwebung ist wiederum umso größer, je näher die beiden Kreisfrequenzen beieinander liegen und die qAmplitude oszilliert mit fallender Dämpfung stärker. Bei der Resonanzfrequenz ωr = ihr Maximum, A(ω) = M q0 2·J ·δ· MD +δ 2 J MD J − 2 · δ erreicht die Amplitude , bei kleiner Dämpfung sind die Resonanzfrequen- zen, die Frequenz der gedämpften und diejenige der ungedämpften Schwingung beinahe gleich, liegen eng beieinander. 5.2.4 Der Gütefaktor Für die Messungen an einem resonanten Sensor ist jetzt nicht nur, wie in den vorangehenden Kapiteln beschrieben, die Resonanzfrequenz von Wichtigkeit, auch der Bestimmung des Gütefaktors Q als zweite maßgebende Kenngröße kommt eine wesentliche Bedeutung zu. Der Gütefaktor, im Folgenden nur mehr als Güte bezeichnet, ist ein Maß für die Dämpfung eines schwingfähigen Systems, man spricht von einem System hoher Güte, wenn dieses schwach gedämpfte Schwingungen ausführt. Zur Bestimmung von Q, hier wird die einfachste jedoch nicht immer die exakteste Methode beschrieben, erfolgt aus der Resonanzfrequenz fr , bezogen auf die Bandbreite B. Sehen wir uns den Frequenzgang, genauer die Amplitude aufgetragen über der Frequenz an, so ergibt sich bei Resonanzfrequenz ein Extremwert. Die Bandbreite B = f2 − f1 (die beiden Frequenzen f1 und f2 werden Grenzfrequenzen genannt) ist als jener √ Bereich definiert, an dessen Grenzen sich die Amplitude um den linearen Faktor 1/ 2 gegenüber dem Extremwert geändert hat, dies entspricht im logarithmischen Maß der −3 dB Grenze. 5.3 Aufgabenstellung Bevor die Messaufbauten in Betrieb genommen werden, machen Sie sich bitte immer mit deren Funktionsweise vertraut, bei etwaigen Unklarheiten wenden Sie sich an den Praktikumsbetreuer. 5.3.1 Der Balkenschwinger In der ersten Übung soll am Messaufbau des Balkenschwingers (siehe Abbildung 5.8) die Resonanzfrequenz bei Variation der Randbedingungen aufgenommen werden. Dies 5 Resonante Sensoren 5.3. Aufgabenstellung 88 erfolgt über den unter dem Balken angebrachten Pickup, welcher hier, aufgebaut durch eine den Permanentmagneten umwickelnde Spule, die Bewegung des ferromagnetischen Balkens in einem Magnetfeld durch die sich ergebende Induktion in eine Wechselspannung mit der Frequenz der Balkenschwingung umwandelt. Nehmen sie dazu die Resonanzfrequenz bei l = 180, 150, 100, 80 mm auf, achten sie nach dem Verstellen der Balkenlänge besonders darauf eine feste Einspannung herzustellen um die angenommenen Randbedingungen des Systems so gut wie möglich zu gewährleisten. Abbildung 5.8: Messaufbau des Balkenschwingers Die Anregung des Balkens erfolgt über den Elektromagneten, der unter dem offenen Balkenende angebracht ist, dieser wird mittels Funktionsgenerator über den bereitgestellten Verstärker angesprochen, die Spannungsamplitude sollte am Funktionsgenerator die 1 V Marke nie überschreiten. Achten Sie bei dem Verstellen der Resonanzfrequenz darauf, dass sie dem Balken genügend Zeit geben sich einzuschwingen, beobachten sie am Oszilloskop die sich ergebenden Effekte der Schwebung. Im Anschluss sollen die Resonanzfrequenzen für diese vorgegebenen Längen im Protokoll mit den berechneten Werten in einem Diagramm verglichen werden, die Formeln dazu finden Sie in der Einführung. Sollte Ihnen bei diesem Vergleich der Resonanzfrequenzen ein Unterschied zwischen der berechneten und der am Frequenzgenerator eingestellten auffallen, welcher 5 Resonante Sensoren 5.3. Aufgabenstellung 89 sich durch den doppelten Wert der eigentlichen Resonsnzfrequenz bemerkbar macht, so überlegen Sie, was diesem Effekt zu Grunde liegt und halten Sie dies im Protokoll fest. Im zweiten Teil der Messungen werden Ihnen vom Praktikumsbetreuer drei verschiedene Gegenstände ausgehändigt, befestigen sie diese am offenen Ende des Resonators und bestimmen sie nacheinander die sich ergebende Verschiebung der Resonanzfrequenz, die Einspannlänge des Balkens sollte mit l = 150 mm gewählt werden. Anschließend soll im Protokoll die Berechnung der Masse dieser Gegenstände erfolgen. Die Kenndaten des Balkens, die sie für die Berechnung benötigen, lauten, b = 30 mm, h = 1 mm, E = 190 GPa, ρ = 7650 kg/m3 . 5.3.2 Der Saitenschwinger Bevor Sie Messungen am Saitenschwinger vornehmen, ist es wichtig sich zu überlegen, was hier den prinzipiellen Unterschied gegenüber dem Balkenschwinger darstellt. Welcher Faktor beeinflusst hier neben der Länge die Frequenz der Schwingung noch maßgeblich? Die Konstruktion des Messaufbaus, Abbildung 5.9, ist mit einer Linearführung so ausgeführt dass Sie bei einer Vorspannung durch ein Gewicht dieses über F = m · g sofort auf die Vorspannkraft umrechnen können. Speisen sie an der Saite über die vordere der beiden BNC-Buchsen eine sinusförmige Spannung mit einer Amplitude von 3 − 4 V ein, verändern sie die Frequenz solange, bis Sie den Resonanzfall deutlich an der Saite erkennen können. An der zweiten der beiden BNC-Buchsen kann die induzierte Spannung mit einem Oszilloskop abgelesen werden. Da es sich bei der Saite in diesem Fall um einen stromdurchflossenen Leiter im Magnetfeld handelt, wird Spannung in den selbigen induziert, diese kann hier mittels Oszilloskop gemessen werden und ist im Resonanzfall, da hier die größte Amplitude der Saite erreicht wird, am größten. Berechnen Sie anschließend im Protokoll unter Zuhilfenahme der Formeln die Masse, welche von Beginn an durch den Linearschlitten zur Vorspannung verwendet wird. Im Anschluss werden Ihnen vom Übungsleiter 3 Gewichte nacheinander am Linearschlitten befestigt, bestimmen Sie wiederum durch das Durchlaufen des Frequenzbereiches am Funktionsgenerator die Resonanzfrequenz der Saite und berechnen Sie im Anschluss die so erzielte Vorspannkraft bzw. die Masse der befestigten Gewichte. Die benötigten Kenndaten der Saite des Resonators lauten wie folgt l = 25, 5 mm, ρ = 19, 3 g/cm3 , d = 0, 1 mm. 5 Resonante Sensoren 5.3. Aufgabenstellung Abbildung 5.9: Messaufbau des Saitenschwingers 90 5 Resonante Sensoren 5.3.3 5.3. Aufgabenstellung 91 Der Torsionsschwinger Um den Messaufbau des Torsionsschwingers, Abbildung 5.10, zu verstehen ist es wichtig seine Ähnlichkeiten mit einem Gleichstrommotor zu sehen. Die Welle enstspricht hier zwei 80 µm Wolframdrähten, auf diesen sitzt ein Spulenkörper mit 100 Windungen, in dieser Analogie soll er als Rotor des Aufbaus angesehen werden. Beide Wellenenden werden mittels Klemmen in einer Ruheposition gehalten, die beiden Wolframstäbe können nun als Torsionsfedern angesehen werden. Wird dieser beschriebene Aufbau in ein Magnetfeld, erzeugt durch zwei Permanentmagneten, gebracht und an der Spule über die beiden Wellenenenden eine Wechselspannung eingebracht, so beginnt der Rotor aufgrund der Lorentzkraft zu oszilieren. Wird die Frequenz der angelegten Sinusspannung fortwährend verändert, kann die Resonanzfrequenz gefunden und der Aufbau bei dieser betrieben werden, diese wird mittels Lock-In Verstärker durch die bewegungsinduzierte Spannung am Rotor gemessen. 5 Resonante Sensoren 5.3. Aufgabenstellung 92 Abbildung 5.10: Messaufbau des Torsionsschwingers Für die Messungen am Torsionsschwinger wird ein bereitgestelltes MATLAB GUI verwendet, um dieses bnutzen zu können wird Ihnen der Praktikumsbetreuer eine kleine 5 Resonante Sensoren 5.3. Aufgabenstellung 93 Einführung geben, machen Sie sich hier vor allem mit der Funktion zum Auswerten von Resonanzfrequenz sowie Güte vertraut. Messen Sie mit diesem Aufbau nun eben diese beiden zuvor erwähnten Kennwerte des Torsionsschwingers aus und versuchen Sie die von MATLAB erstellten Grafiken auszuwerten. Welcher Effekt führt fälschlicherweise zu der Annahme von Nebenresonanzen im Frequenzgang? Überlegen Sie sich für das Protokoll, warum zur Messung ein Lock-In Verstärker zum Einsatz kommt? Wiegen Sie nun ein Stück Klebestreifen ab, kleben Sie dieses auf den Rotor des Messaufbaus und bestimmen Sie erneut die beiden Kennwerte, Resonanzfrequenz und Güte, des massebehafteten Torsionsschwingers. 5.3.4 Das Schwing-Viskosimeter Um nun eine Anwendung der hier beschriebenen und durchgeführten Mess- und Sensorprinzipien veranschaulichen zu können, wird im Zuge dieses Praktikums ein SchwingViskosimeter vorgestellt, im Folgenden eine kleine Einführung in den Aufbau und Prinzip des Sensors. Der für die Messungen essenzielle Teil des Sensors besteht aus dem zu einem U geformten Wolframdraht, dieser ist an seinen beiden losen Enden fest eingespannt am Deckel des Sensors befestigt. Der Draht kann daher als einfach eingespannter Balken angesehen werden, führt die selben Schwingungen aus und kann mit der gleichen Bewegungsgleichung beschrieben werden. Der Unterteil besteht aus Ringmagneten, in dessen Hohlraum dieser Wolframdraht eintaucht. Wird nun, wie bei der folgenden Versuchsdurchführung, eine Sinusspannung in den Draht induziert, so führt dieser Aufgrund der Lorentzkraft Schwingungen aus. Der entstehende Hohlraum im Sensor wird mittels O-Ringen abgedichtet, sodass es möglich wird unterschiedliche Flüssigkeiten einzuspritzen und zu vermessen. Die Auswertung der Kenndaten, Resonanzfrequenz und Güte, erfolgt wiederum durch die bewegungsinduzierte Spannung des Wolframdrahtes, welche über das oben vorgestellte MATLAB GUI ausgewertet werden soll. Die Viskosität ist ein Maß für die Zähflüssigkeit eines Fluids, den Kehrwert stellt die Fluidität dar. Es ist wichtig, dass eine Angabe dieser Kennzahl nur mit simultaner Angabe der Temperatur Sinn macht. Eine hohe Viskosität lässt auf eine dickflüssige Substanz schließen und natürlich umgekehrt, eine Flüssigkeit mit einer hohen Kennzahl wäre z.B. Honig. Für das Protokoll soll nun der Aufbau bzw. seine Kennwerte, Resonanzfrequenz und Güte bei den drei verschiedenen Medien, Luft (Dichte % = 1, 293 kg/m3 ) , Aceton (Dichte % ≈ 790 kg/m3 , Viskosität bei 20◦ C η ≈ 0, 32 mPas) und Isopropanol (Dichte % ≈ 790 kg/m3 , Viskosität bei 20◦ C η ≈ 2, 2 mPas) aufgenommen werden. A Anhang A.1 Interferometer Im Folgenden werden die wichtigsten Komponenten des optischen Tisches mittels Bilder vorgestellt. Diese Komponenten stehen Ihnen dann auch beim Aufbau des MichelsonInterferometers zur Verfügung. Abbildung A.1: Montageplatte, Stangen und geeignetes Werkzeug 94 A Anhang A.1. Interferometer 95 Abbildung A.2: Halterungen und Aufnahmeplatten Abbildung A.3: Schirme zur Ausrichtung der Strahlen und Darstellung der Interferenzmuster A Anhang A.1. Interferometer Abbildung A.4: µm-Schraube mit Halterung Abbildung A.5: Lochblende 96 A Anhang A.1. Interferometer 97 Abbildung A.6: Strahlteilerwürfel auf einer, mit µm-Schrauben ausrichtbaren Halterung Abbildung A.7: Strahlaufweiter (Faktor 10) A Anhang A.1. Interferometer 98 Abbildung A.8: Laserdiode, Laserspiegel, jeweils mit Halterung, die mit Hilfe von 3 Schrauben fein ausgerichtet werden kann Literaturverzeichnis [1] Tietze, Schenk, Halbleiter-Schaltungstechnik. Springer-Verlag, 1999. ISBN 3-54064192-0. [2] http://www.wikipedia.org/. [3] M. Löffler-Mang, Optische Sensorik. Vieweg+Teubner Verlag, 2012. ISBN 978-38348-1449-4. [4] “Spocks Elektronik-Labor.” http://www.trigonal.de/sel/moba_02.htm. 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