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Plan Optik AG Besser atmen mit dem Respimat Soft Inhaler von Boehringer Ingelheim microParts Plan Optik AG liefert hoch vergüteten Glaswafer für Deckelung des technologischen Kernstücks Gute Partnerschaft: Flexibel und gleichbleibend gute Qualität Mikrometer dünne Flüssigkeitsstrahlen treffen mit Formel-1-Geschwindigkeit aufeinander, um eine extrem feine Sprühwolke zu bilden: Der Respimat® Soft Inhaler der Boehringer Ingelheim microParts GmbH (Dortmund) hat die Inhalationstechnologie revolutioniert. Die Plan Optik AG liefert zur Herstellung des technischen Kernstücks des Respimats, des so genannten Uniblocks, einen speziellen Wafer aus Borosilikatglas, dessen Oberflächengüte und Dickentoleranz höchsten Anforderungen genügt. Glaswafer erlaubt Prüfung der Struktur auch nach dem Bonden Qualität von Plan Optik ermöglicht optimales Bond-Ergebnis Der Uniblock, der als Einheit aus Feinfilter und Zweistrahlimpaktionsdüse die Sprühwolke rein mechanisch ohne Treibgas erzeugt, besteht aus einem Filtersystem und einer besonderen Düse, die die feine Sprühwolke erzeugt. Die Wirkstofflösung wird im Uniblock durch ein feines Filtersystem gepresst. Der Austritt der Flüssigkeit aus dem Uniblock erfolgt über zwei Kanäle. Die Flüssigkeitsstrahlen treffen in einem genau definierten Winkel aufeinander und erzeugen so die Sprühwolke. Diese hält lange an und besitzt einen hohen Anteil an feinen und damit lungengängigen Partikeln. Die von Plan Optik hergestellten Glaswafer verfügen über sehr hohe Oberflächengüte und sehr geringe Dickenvariation. Beides ist gleichermaßen wichtig, denn eine nicht hinreichend plane Oberfläche würde die atomare Verbindung der beiden Wafer schwächen und unter Umständen sogar die geforderte Festigkeit verhindern. Das perfekte Bondergebnis ist deshalb so wichtig, da der Betriebsdruck der Düse 200 bar beträgt, der Prüfdruck sogar 320 bar – also mehr als das 100-fache des Druckes in einem Autoreifen. Diesen Drücken muss die Düse auf Dauer standhalten. Ausgangspunkt des Uniblocks ist ein Siliziumwafer mit Oxidschicht. Boehringer Ingelheim microParts strukturiert diesen Wafer mittels eines Trockenätzverfahrens, das vom Unternehmen entwickelt worden ist. „In einem frühen Entwicklungsstadium haben wir gedacht, dass wir diese Struktur auch mit einem Siliziumwafer deckeln,“ erläutert Frank Pelzer, Teamcoach Düsenfertigung Frontend. Dann hat sich aber die Erkenntnis durchgesetzt, dass ein Glaswafer die bessere Wahl sein würde. Denn: „So lässt sich die Struktur auch noch nach dem Bonden mit optischen Verfahren überprüfen,“ verdeutlicht Dr. Stefan Kreuzberger, Director Public Relations. Ein wenn man so will konvexer oder konkaver Deckel würde die Raummaße der Düse spürbar verändern – mit unerwünschten Folgen für den Sprühstrahl und damit das Sprühergebnis. „Plan Optik setzt deshalb spezielle, zum Teil eigenentwickelte Polierverfahren wie die MDF-Politur ein, um jeweils exakt auf die Anforderungen passende Oberflächengüten zu garantieren,“ betont Carsten Wesselkamp, Plan Optik-Vertriebsingenieur. Die Düse besitzt einen Durchmesser von 5 Mikrometern, und sie besitzt eine Filterfunktion. Schon aus diesem Grund muss jede einzelne Düse nach dem Vereinzeln des gebondeten Wafers überprüft werden – und dies geht mit einem Glasdeckel wesentlich einfacher als mit dem nicht durchsichtigen Silizium. Man habe also einen Lieferanten gesucht, der Glaswafer in hinreichender Anzahl und mit ambitionierten Produktspezifikationen beisteuern kann. „Hier haben wir mit der Plan Optik AG einen verlässlichen Partner gefunden, mit dem wir auch zuvor schon zusammengearbeitet hatten,“ so Pelzer. Der Produktionsprozess erfordert ebenfalls die weitestgehende atomare Verbindung des strukturierten Siliziumwafers mit dem Glaswafer, denn die mehrere Hundert pro Waferpaar entstehenden Düsen werden in einem Sägeprozess vereinzelt. „Hier müssen Ausbruch-Prozesse unbedingt vermieden werden,“ macht Pelzer klar, dass höchste Ansprüche an die Homogenität und Stabilität gestellt werden müssen. Es sei daher unabdingbar, mit erfahrenen und leistungsstarken Partnern zusammen zu arbeiten. „Wir haben Plan Optik als flexiblen Partner kennengelernt, dessen gute Lieferfähigkeit und gleichbleibend hohe Qualität für uns entscheidend sind,“ befindet Pelzer. Dies gilt um so mehr, als aufgrund der Medizinprodukte- und Arzneimittelgesetze umfangreiche Prüf- und Dokumentationsvorschriften zu erfüllen sind. Dies lasse sich nur in vertrauensvoller Zusammenarbeit mit engagierten Partnerunternehmen bewerkstelligen. Pro Jahr können nun bis zu 20 Millionen Respimat® Soft Inhaler weltweit ausgeliefert werden. Dadurch ist die Inhalationstherapie dank einzigartiger Mikrotechnologie effizient wie nie zuvor: Die sanfte, lang anhaltende Sprühwolke ist ca. 1,5 Sekunden lang und damit bis zu sieben Mal länger als die Aerosolbildung von handelsüblichen Dosieraerosolen. Dadurch haben Patienten einerseits mehr Zeit für den Inhalationsvorgang, andererseits wird die Koordination zwischen Auslösen und Einatmen deutlich vereinfacht. Das Ergebnis: Die Wirkstoffmenge, die den Zielort Lunge erreicht – die so genannte Lungendeposition – ist bis zu drei Mal höher als mit einem Dosieraerosol, und es verbleibt somit weniger Wirkstoff im Mund-Rachen-Raum. Die Hohlräume des mikrostrukturierten Silizium-Wafers (unten) werden mit dem Glas-Wafer von Plan Optik gedeckelt. Nach dem so genannten Bonden erfolgt die Vereinzelung der so gewonnenen Düsen durch einen Sägeprozess. Über Boehringer Ingelheim microParts GmbH Über Plan Optik AG Die Boehringer Ingelheim microParts GmbH entwickelt und fertigt Produkte der Mikrosystemtechnik (MST) für die Life Science Industrie und gehört zu den weltweiten Technologieführern in diesem Bereich. Die Plan Optik AG liefert als Technologieführer in der Herstellung strukturierter Wafer die aktiven Elemente für zahlreiche Anwendungen der Mikrosystemtechnik in unterschiedlichen Branchen. Die Wafer aus Glas, Glas-Silizium oder Quarz werden in Durchmessern bis zu 300 mm angeboten. Insbesondere in den Bereichen Health Care (Mikrodosiersysteme, Lab on Chips), Automotive (Sensoren für Fahrerassistenzsysteme und Motorsteuerung, LED-Headlamps), Luft- und Raumfahrt (Stell- und Lagesensoren) sowie Consumer Electronics (CMOS-Chips) basieren innovative Lösungen auf mikrostrukturierten Bauteilen von Plan Optik. Wafer als Carrier in der Halbleiterindustrie sowie Conductive-Via-Wafer-Lösungen finden zunehmende Verbreitung. Die Herstellung von Mikrolinsen aus Glas auf Waferebene hat Plan Optik zu einem wichtigen Lieferanten für Anbieter von Mikrooptiken werden lassen. Die Unternehmens-Aktivitäten fokussieren sich auf die exakte Reproduktion kleinster Strukturen im mikroskopischen Bereich durch den Einsatz hoch entwickelter Spritzgießverfahren. Neben Systemen zur treibgasfreien Aerosolerzeugung sind mikrostrukturierte Kanalplatten für die medizinische Diagnostik und Analytik (Bio-Chips, Lab on a Chip-Systeme) und Mikrospektrometer wichtige Entwicklungen von Boehringer Ingelheim microParts. Der Bereich Mikrosysteme für die medizinische Diagnostik ist kompetenter Partner für Unternehmen der Life Science und der In Vitro Diagnostik. Dort werden kundenspezifische Diagnostik-Tests bzw. Testsysteme (z.B. Lab-on-a-Chip) mittels neuartiger Designs aus Mikrooptik und Mikrofluidik entwickelt und gefertigt. Wichtigstes Produkt des Kompetenzzentrums für innovative Drug Delivery Systeme ist der innovative Inhalator Respimat® Soft Inhaler. Um die Marktbedarfe zu erfüllen, hat Boehringer Ingelheim microParts die Produktionskapazität auf dem Firmengelände im Dortmunder Technologiepark ausgebaut. Ergebnis ist eine Verdoppelung der Produktions-Kapazität für den Respimat® Soft Inhaler von zehn auf 20 Millionen Inhalatoren pro Jahr. Auf 12.000 qm, davon 4.000 qm Reinraumfläche, wird das Inhalationsgerät für den Weltmarkt produziert. Plan Optik arbeitet mit Kunden wie Infineon, Motorola, Boehringer, Samsung, Honeywell, Osram, Zeiss und Bosch zusammen und adressiert damit Märkte in Asien, Europa und Nordamerika. Das Unternehmen ist im Open Market (Entry Standard) der Frankfurter Wertpapierbörse notiert. Plan Optik AG Über der Bitz 3 56479 Elsoff • Germany T +49 2664 5068 0 F +49 2664 5068 91 [email protected] www.planoptik.com